[实用新型]一种多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，包括除尘装置(1)和粉尘过滤装置(2)，所述还原炉的尾气出气口通过管道与除尘装置(1)的进气口连通，所述除尘装置(1)的出气口通过管道与所述粉尘过滤装置(2)的进气口连通；所述粉尘过滤装置(2)中设有过滤网；

所述除尘装置选自离心式除尘装置、重力除尘装置或过滤式除尘装置。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，所述粉尘过滤装置(2)的过滤网的筛孔尺寸小于等于10微米。

3.根据权利要求2所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，所述粉尘过滤装置(2)的过滤网的筛孔尺寸为5～10微米。

4.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，所述粉尘过滤装置(2)的出气口通过管道与尾气处理系统连接。

5.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，还包括粉尘收集装置(3)，所述粉尘收集装置位于除尘装置(1)的出尘口和/或粉尘过滤装置(2)的出尘口下方。

6.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，还包括两个粉尘收集装置(3)，所述除尘装置(1)的出尘口通过管道与一个粉尘收集装置(3)连通，所述粉尘过滤装置(2)的出尘口与另一个粉尘收集装置(3)连通。

7.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，还包括一个粉尘收集装置(3)，所述除尘装置(1)的出尘口和粉尘过滤装置(2)的出尘口均通过管道与粉尘收集装置(3)连通。

8.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，所述离心式除尘装置为旋风除尘器；所述过滤式除尘装置为袋式除尘器。

9.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，所述重力除尘装置为多层沉降室。

10.根据权利要求1所述的多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置，其特征在于，所述粉尘过滤装置(2)为立式储罐式过滤装置。