[实用新型]一种混合驱动的二维MEMS微镜

权利要求书

1.一种混合驱动的二维MEMS微镜，其特征在于：包括环形外衬底(1)、环形内衬底(2)、镜面支撑(3)；其中，环形内衬底(2)的外径小于环形外衬底(1)的内径，环形内衬底(2)位于环形外衬底(1)内，环形内衬底(2)外周上彼此相对两侧的位置分别通过第一转轴(4)对接环形外衬底(1)内侧边，环形内衬底(2)外周侧边两连接第一转轴(4)的位置之间呈对称分布；

环形内衬底(2)外周上彼此相对的两侧边上分别设置梳齿组，该两侧边上分别所设梳齿组相对环形内衬底(2)外周侧边连接两第一转轴(4)的位置连线呈轴对称分布；环形外衬底(1)内侧边上分别对应环形内衬底(2)外周上两梳齿组的位置分别设置梳齿组，环形外衬底(1)内侧边上各梳齿组中各根齿条的投影、分别与环形内衬底(2)外周上对应位置梳齿组中各根齿条的投影彼此平行、且彼此相互交错；

镜面支撑(3)的边缘对接于环形内衬底(2)的内侧边，镜面支撑(3)的上表面设置镜面反射层(8)；环形外衬底(1)上表面设置各个焊盘(5)；通过向各个焊盘(5)供电，在环形外衬底(1)内侧边梳齿组中各根齿条与环形内衬底(2)外周对应位置梳齿组中各根齿条之间的相互作用力下，实现环形内衬底(2)相对其外周侧边所连第一转轴(4)的转动，进而获得镜面反射层(8)随镜面支撑(3)的转动。

2.根据权利要求1所述一种混合驱动的二维MEMS微镜，其特征在于：还包括至少两个压电复合驱动装置(6)，所述镜面支撑(3)的边缘通过各压电复合驱动装置(6)分别对接所述环形内衬底(2)的内侧边，通过向所述各个焊盘(5)供电，在各压电复合驱动装置(6)的通电驱动下，实现镜面支撑(3)与环形内衬底(2)的相对转动，进而获得镜面反射层(8)随镜面支撑(3)的转动。

3.根据权利要求2所述一种混合驱动的二维MEMS微镜，其特征在于：所述压电复合驱动装置(6)的数量为两个，所述镜面支撑(3)上其中一边缘的两端分别通过各压电复合驱动装置(6)对接所述环形内衬底(2)的同一条内侧边，两个压电复合驱动装置(6)彼此平行。

4.根据权利要求2所述一种混合驱动的二维MEMS微镜，其特征在于：所述压电复合驱动装置(6)的数量为四个，所述镜面支撑(3)外周上彼此相对两侧的位置分别通过第二转轴(7)对接所述环形内衬底(2)的内侧边，镜面支撑(3)外周侧边两连接第二转轴(7)的位置之间呈对称分布；各第二转轴(7)分别与两个压电复合驱动装置(6)相对应，各第二转轴(7)上的两侧分别对接对应各压电复合驱动装置(6)上的其中一端，各压电复合驱动装置(6)上的另一端分别对接环形内衬底(2)的内侧边。

5.根据权利要求2至4中任何一项所述一种混合驱动的二维MEMS微镜，其特征在于：所述各个压电复合驱动装置(6)的结构彼此相同，各压电复合驱动装置(6)分别均包括由下至上堆叠的电极层、压电驱动材料层、电极层。

6.根据权利要求5所述一种混合驱动的二维MEMS微镜，其特征在于：所述压电驱动材料层为PZT、ZnO、AlN中的任意一种；所述压电复合驱动装置(6)中的电极层为Pt层、Al层或者Mo层。