[实用新型]一种视觉精密探针振动盘

权利要求书

1.一种视觉精密探针振动盘，其特征在于，包括直振控制器、圆振控制器、直振组件、圆振盘、探针筛选组件、探针回流管、探针回流吹气管以及探针吸取组件，所述直振控制器与直振组件电性连接，所述圆振控制器与圆振盘电性连接，所述直振组件与圆振盘非接触相接，所述探针筛选组件位于直振组件的轨道上，所述探针回流管与探针回流吹气管连通，所述探针回流管朝向圆振盘，所述探针回流吹气管位于直振组件前端，所述探针吸取组件位于直振组件前端。

2.根据权利要求1所述的视觉精密探针振动盘，其特征在于，所述探针筛选组件包括探针判别相机、视觉光源、筛选吹气管，所述探针判别相机位于直振组件和圆振盘连接处上方，所述视觉光源位于直振组件的轨道下方，所述筛选吹气管位于直振组件和圆振盘连接处一侧，所述筛选吹气管朝向圆振盘。

3.根据权利要求1所述的视觉精密探针振动盘，其特征在于，所述直振组件包括直振轨道和探针回流通道，所述直振轨道设置有两个并排的槽道，其中一个槽道与探针回流通道连接，另一个槽道与圆振盘对接，所述探针回流通道中设置探针回流管和探针回流吹气管，所述探针回流吹气管位于探针回流通道前端，所述探针吸取组件位于直振轨道前端。

4.根据权利要求3所述的视觉精密探针振动盘，其特征在于，所述探针吸取组件包括探针检测激光、探针定位真空吸管组以及探针位置检测光纤，所述探针检测激光位于探针定位真空吸管组前端的上方，所述探针位置检测光纤位于探针定位真空吸管组下方。

5.根据权利要求4所述的视觉精密探针振动盘，其特征在于，所述探针定位真空吸管组包括若干并排设置的真空吸口，所述探针位置检测光纤包括若干并排设置的真空光纤，各所述真空吸口与一个真空光纤一一对应。