[实用新型]一种在线式石墨舟偏移的补偿装置有效
申请号: | 202022844149.1 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN213812135U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 黎俊龙;林小华;吴卓庚;吴志龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市艾特自动化有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;H01L21/673;H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/54 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 刘曰莹 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 在线 石墨 偏移 补偿 装置 | ||
1.一种在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,包括:
激光测量模块,用于发出激光,实时采集石墨舟舟槽的实际位置信息;
控制模块,与所述激光测量模块电性连接,用于控制所述激光测量模块启动,接收舟槽的实际位置的采集数据,并得出舟槽的偏移数据;
补偿模块,与所述控制模块电性连接,用于接收所述控制模块发送的偏移数据,控制装卸片机器人根据偏移数据运行至准确位置进行装卸片操作。
2.根据权利要求1所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述激光测量模块包括:多个安装支架和设于每一安装支架上的若干激光位移传感器,多个安装支架均设于石墨舟输送轨道的同一侧;每一安装支架对应石墨舟的一个舟槽设置。
3.根据权利要求2所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,每一安装支架上设有两个激光位移传感器,两激光位移传感器分别对应石墨舟的上部和下部进行测量。
4.根据权利要求2所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述激光测量模块还包括一固定座,所述固定座固定于石墨舟输送轨道的一侧,并对应石墨舟的长度设置,多个安装支架可活动地安装于所述固定座上。
5.根据权利要求4所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,还包括一石墨舟夹紧模块,所述石墨舟夹紧模块包括:一气缸和一夹具,所述气缸与上下片机台PLC连接,所述气缸的动力输出端连接至所述夹具,所述夹具设于所述石墨舟输送轨道的另一侧,并对应所述石墨舟的长度设置,所述夹具在气缸的驱动下与所述固定座相配合实现对石墨舟宽度方向上的夹紧操作。
6.根据权利要求1-5任一项所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述激光测量模块还包括:一触发传感器,所述触发传感器安装于上下片机台上,所述触发传感器感应到石墨舟进入装卸片位置后,发送信息至控制模块。
7.根据权利要求1所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述控制模块运行于一工控机上,所述控制模块内包括一数据分析单元,所述数据分析单元内预存有石墨舟各个舟槽的校准位置的位置信息。
8.根据权利要求6所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述上下片机台上设有底座,所述装卸片机器人固定于所述底座上,所述补偿模块运行于装卸片机器人上。
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