[实用新型]一种在线式石墨舟偏移的补偿装置有效

专利信息
申请号: 202022844149.1 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN213812135U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 黎俊龙;林小华;吴卓庚;吴志龙 申请(专利权)人: 深圳市艾特自动化有限公司
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;H01L21/673;H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/54
代理公司: 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 代理人: 刘曰莹
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 在线 石墨 偏移 补偿 装置
【权利要求书】:

1.一种在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,包括:

激光测量模块,用于发出激光,实时采集石墨舟舟槽的实际位置信息;

控制模块,与所述激光测量模块电性连接,用于控制所述激光测量模块启动,接收舟槽的实际位置的采集数据,并得出舟槽的偏移数据;

补偿模块,与所述控制模块电性连接,用于接收所述控制模块发送的偏移数据,控制装卸片机器人根据偏移数据运行至准确位置进行装卸片操作。

2.根据权利要求1所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述激光测量模块包括:多个安装支架和设于每一安装支架上的若干激光位移传感器,多个安装支架均设于石墨舟输送轨道的同一侧;每一安装支架对应石墨舟的一个舟槽设置。

3.根据权利要求2所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,每一安装支架上设有两个激光位移传感器,两激光位移传感器分别对应石墨舟的上部和下部进行测量。

4.根据权利要求2所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述激光测量模块还包括一固定座,所述固定座固定于石墨舟输送轨道的一侧,并对应石墨舟的长度设置,多个安装支架可活动地安装于所述固定座上。

5.根据权利要求4所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,还包括一石墨舟夹紧模块,所述石墨舟夹紧模块包括:一气缸和一夹具,所述气缸与上下片机台PLC连接,所述气缸的动力输出端连接至所述夹具,所述夹具设于所述石墨舟输送轨道的另一侧,并对应所述石墨舟的长度设置,所述夹具在气缸的驱动下与所述固定座相配合实现对石墨舟宽度方向上的夹紧操作。

6.根据权利要求1-5任一项所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述激光测量模块还包括:一触发传感器,所述触发传感器安装于上下片机台上,所述触发传感器感应到石墨舟进入装卸片位置后,发送信息至控制模块。

7.根据权利要求1所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述控制模块运行于一工控机上,所述控制模块内包括一数据分析单元,所述数据分析单元内预存有石墨舟各个舟槽的校准位置的位置信息。

8.根据权利要求6所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置,其特征在于,所述上下片机台上设有底座,所述装卸片机器人固定于所述底座上,所述补偿模块运行于装卸片机器人上。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市艾特自动化有限公司,未经深圳市艾特自动化有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022844149.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top