[实用新型]一种研磨机构

说明书

本申请公开了一种研磨机构，包括：压力气缸，升降设置；旋转支架，连接所述压力气缸，所述旋转支架上设置有轴承组件、旋转电机、旋转轴、旋转接头，所述旋转接头连通真空气源，所述旋转轴依次卡接穿过所述轴承组件、所述旋转电机后与所述旋转接头连接，所述旋转轴开设有与所述旋转接头密封连通的轴腔；吸附组件，顶部连接所述旋转轴且设有与所述轴腔连通的吸附孔，底部吸附有可拆卸的研磨片。本研磨机构能够使研磨片在制作过程中平行公差好保证，研磨机构与研磨平台的平行度不易改变，研磨稳定性强，产品良率也有保证，制作过程简单。

技术领域

本实用新型涉及研磨方面的技术领域，尤其涉及一种研磨机构。

背景技术

研磨设备行业具有产品更新换代快、对产品的良率有较高的要求的特点，这就对研磨设备的清洁能力以及稳定性提出了一个更高的要求。目前，研磨设备主要由研磨机构和研磨平台构成，当研磨平台承载研磨材料沿研磨机构移动进行研磨时，需要控制研磨机构和研磨平台两者的平行度在合理的公差范围内。

现有技术中，研磨机构上的研磨安装板是利用磁铁吸附原理吸附研磨盘，其中，研磨盘安装板上安装有磁铁和定位销钉，而研磨盘由磁吸不锈钢板、研磨缓冲材和研磨片粘贴而成，这种研磨盘在制作过程中与研磨平台的平行公差难保证。假设将研磨机构上的研磨盘安装板和研磨平台的平行度调好在合理的公差范围内时，当把研磨盘安装到研磨盘安装板上，再去测量研磨盘和研磨平台的平行度，如果研磨盘和研磨平台两者的平行度误差较大，就会出现研磨机构和研磨平台不平行的现象，当研磨平台移动进行研磨时，就会存在因受力不均造成研磨均匀性差、研磨稳定性难保证等问题，且研磨片更换需要拆卸整个研磨盘，研磨耗材更换速度慢，影响生产效率。

由于研磨盘和研磨平台的平行度又不好控制，有些研磨设备则利用微调机构进行微调实现平行，这种研磨设备具有结构复杂、操作繁琐的弊端，不利于调试和设备维护。

实用新型内容

(一)实用新型目的

本实用新型的目的是提供一种研磨机构，能够使研磨片在制作过程中平行公差好保证，研磨机构与研磨平台的平行度不易改变，研磨稳定性强，产品良率也有保证，制作过程简单。

(二)技术方案

为了实现上述目的，本实用新型采用如下的技术方案以提供一种研磨机构，包括:

压力气缸，升降设置；旋转机构，包括连接所述压力气缸的旋转支架，所述旋转支架上设置有轴承组件、旋转电机、旋转轴、旋转接头，所述旋转接头连通真空气源，所述旋转轴依次卡接穿过所述轴承组件、所述旋转电机后与所述旋转接头连接，所述旋转轴开设有与所述旋转接头密封连通的轴腔；吸附组件，顶部连接所述旋转轴且设有与所述轴腔连通的吸附孔，底部吸附有可拆卸的研磨片。

本研磨机构利用旋转电机与轴承组件对旋转轴进行固定，由于研磨旋转轴是由旋转电机和旋转轴承双重受力，保证研磨片在研磨时机构的研磨稳定，不会因为刚性不足造成受力不均而影响产品生产效率。再者，将缓冲材质直接安装在研磨机构上，利用真空吸附原理实现快速安装研磨片，研磨片在制作过程中平行公差好保证，研磨机构与研磨平台的平行度不易改变，研磨稳定性强，产品良率也有保证，制作过程简单。

在一些实施例中，所述轴承组件包括：轴承固定件、套接在所述轴承固定件内侧的旋转轴承，所述轴承固定件套设在所述旋转支架与所述旋转电机，所述旋转轴承套接在所述轴承固定件内侧，所述旋转轴穿过所述轴承固定件和所述旋转轴承后插入所述旋转电机内。

在一些实施例中，所述轴承固定件与所述旋转轴之间套设有油封环，该油封环抵接在所述轴承固定件的顶面与所述旋转电机的底面。由此，旋转轴承上部安装有油封进行密封，防止水气进入到旋转电机和旋转轴承内部中。

在一些实施例中，所述吸附组件的两侧设置有喷水管，所述喷水管上开设有多个喷水孔。由此，喷水管通过喷水孔供水，用于对在研磨过程中的研磨片进行清洗。