[实用新型]一种靶材的喷砂遮蔽治具有效
| 申请号： | 202022849448.4 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN213731233U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 | 申请（专利权）人： | 河南东微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人： | 关璐琪 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 遮蔽 | ||
1.一种靶材的喷砂遮蔽治具，包括靶材（1）与设置靶材（1）上端的非喷砂部（2），其特征在于，所述靶材（1）上设有用于遮挡非喷砂部（2）的遮挡机构，所述遮挡机构包括设置在非喷砂部（2）上的遮板（16），所述遮板（16）上端固定连接有壳体（5），所述壳体（5）下端对称连通设有多个吸气管（4），多个所述吸气管（4）下端均设有吸盘（3），多个所述吸盘（3）下端与靶材（1）上端接触，所述靶材（1）上设有用于抽出吸盘（3）内空气的抽气机构。
2.根据权利要求1所述的一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述抽气机构包括固定连接在壳体（5）上端的抽气管（6），所述抽气管（6）内设有活塞（7），所述活塞（7）侧壁固定连接有拉杆（8），所述拉杆（8）一端贯穿抽气管（6）侧壁，所述拉杆（8）远离抽气管（6）的一端固定连接有拉环（9），所述壳体（5）上设有用于固定拉环（9）的固定机构。
3.根据权利要求2所述的一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述固定机构包括固定连接在壳体（5）上端的第一固定板（10），所述第一固定板（10）侧壁贯穿设有限位杆（11），所述限位杆（11）侧壁固定套接有固定环（13），所述限位杆（11）侧壁设有弹簧，所述弹簧一端与固定环（13）侧壁固定连接，所述弹簧另一端与第一固定板（10）侧壁固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述壳体（5）上端固定连接有第二固定板（14），所述第二固定板（14）设有与限位杆（11）匹配的限位孔，所述限位杆（11）远离第二固定板（14）的一端固定连接有挡片（12）。
5.根据权利要求2所述的一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述壳体（5）上端设有出气口（15），所述抽气管（6）下端设有开口，所述出气口（15）位于开口正下方。
6.根据权利要求1所述的一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述遮板（16）长度大于非喷砂部（2）长度，所述遮板（16）宽度大于非喷砂部（2）宽度。
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