[实用新型]一种基于硅片成品的检测装置有效

专利信息
申请号: 202022850793.X 申请日: 2020-12-01
公开(公告)号: CN214539289U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 祝凯;王雅妹;吾超凤 申请(专利权)人: 开化晶芯电子有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江省衢州市开*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 硅片 成品 检测 装置
【说明书】:

实用新型涉及硅片检测技术领域,且公开了一种基于硅片成品的检测装置,包括工作台,所述工作台的顶部固定连接有立支架,所述立支架的右侧固定连接有第一电机,所述立支架的内部开设有传动槽,所述传动槽中转动连接有驱动螺杆。该基于硅片成品的检测装置,通过设置第一电机、驱动螺杆、动块、第二电机、驱动轴、转盘和卡板,将待检测的硅片放置在转盘中,并与卡板贴合,启动第二电机,第二电机通过驱动轴带动转盘转动,再启动第一电机带动驱动螺杆转动,动块开始带动检测机移动,通过检测机的光学设备对硅片进行观测,可避免区域漏检,解决了当前工作人员手持硅片不断地变换角度观察检测,容易出现漏检一些区域,硅片容易掉落的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片检测技术领域,具体为一种基于硅片成品的检测装置。

背景技术

当前对硅片完整度的检测通常采用的方法是工作人员手持硅片,并不断地改变手持硅片的角度,以此来观察硅片上是否有划痕和缺口,这种方法容易出现疏漏,有可能会漏检硅片上的一些区域,且手持硅片不断变换角度地观察,存在硅片掉落的风险。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种基于硅片成品的检测装置,具备可较为完全地检测硅片,且可避免硅片掉落的优点,解决了当前工作人员手持硅片不断地变换角度观察检测,容易出现漏检一些区域,硅片容易掉落的问题。

(二)技术方案

为实现上述可较为完全地检测硅片,且可避免硅片掉落的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种基于硅片成品的检测装置,包括工作台,所述工作台的顶部固定连接有立支架,所述立支架的右侧固定连接有第一电机,所述立支架的内部开设有传动槽,所述传动槽中转动连接有驱动螺杆,所述驱动螺杆的右端与第一电机的输出端固定连接,所述驱动螺杆的侧表面传动连接有动块,所述动块与传动槽滑动连接,所述动块的底部固定连接有检测机,所述工作台的底部固定连接有第二电机,所述工作台的顶部转动连接有驱动轴,所述驱动轴的底端与第二电机的输出端固定连接,所述驱动轴的顶端固定连接有转盘。

所述转盘的侧内壁开设有侧内槽,所述侧内槽的数量为三个,所述转盘的内底壁开设有底滑槽,所述底滑槽延伸至侧内槽中,所述底滑槽的数量为三个,三个所述底滑槽中均滑动连接有底滑板,所述底滑板的顶部固定连接有连板,所述连板的顶部固定连接有卡板,三个所述底滑槽的内部均固定连接有限位杆,所述底滑板与限位杆滑动连接,所述底滑槽中设置有弹簧,所述弹簧的两端分别与底滑板和底滑槽固定连接,所述弹簧处于拉长状态,三个所述连板互相远离的一端均设置有调节螺纹杆,调节螺纹杆与连板贴合,所述调节螺纹杆远离连板的一端固定连接有转轮。

优选的,所述传动槽的前侧内壁和后侧内壁均开设有侧滑槽,所述动块的正面和背面均设有凸起,所述动块的凸起延伸至侧滑槽中。

优选的,三个所述侧内槽以转盘的圆心为圆心圆周分布,且相邻两个所述侧内槽间的夹角相同。

优选的,三个所述底滑槽以转盘的圆心为圆心圆周分布,且相邻两个所述底滑槽间的夹角相同。

优选的,单个所述底滑槽中限位杆的数量为两个,所述限位杆的侧表面设置标尺刻度。

优选的,所述调节螺纹杆远离连板的一端侧内槽,并延伸出侧内槽,所述调节螺纹杆与侧内槽螺纹连接。

与现有技术相比,本实用新型提供了一种基于硅片成品的检测装置,具备以下有益效果:

1、该基于硅片成品的检测装置,通过设置第一电机、驱动螺杆、动块、第二电机、驱动轴、转盘和卡板,将待检测的硅片放置在转盘中,并与卡板贴合,启动第二电机,第二电机通过驱动轴带动转盘转动,再启动第一电机带动驱动螺杆转动,动块开始带动检测机移动,通过检测机的光学设备对硅片进行观测,可避免区域漏检,解决了当前工作人员手持硅片不断地变换角度观察检测,容易出现漏检一些区域,硅片容易掉落的问题。

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