[实用新型]用于等离子室的边缘环有效
| 申请号： | 202022865060.3 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN214411118U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·C·凯洛格;亚当·克里斯多夫·梅斯;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;约翰·霍兰德;陈志刚;菲力克斯·莱布·科扎克维奇;亚历山大·马丘什金 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 边缘 | ||
1.一种用于等离子体室的边缘环，所述边缘环被配置为沿着衬底支撑件的外围放置，所述边缘环的特征在于，
顶部环形表面(102)；
顶部止挡表面(720)；
在所述顶部环形表面和所述顶部止挡表面之间的圆形的成角度的表面(710)；
底部环形表面(302)，其具有形成在其中的多个螺钉插孔件(402A)。
2.根据权利要求1所述的边缘环，其中，所述多个螺钉插孔件中的每一个延伸到所述边缘环中以处于所述顶部止挡表面的水平高度以下的水平处。
3.根据权利要求2所述的边缘环，其中，所述多个螺钉插孔件中的每一个具有顶部表面，所述顶部表面在所述顶部止挡表面的所述水平高度以下。
4.根据权利要求1所述的边缘环，其中，所述多个螺钉插孔件中的每一个具有用于容纳螺钉的多个容纳螺纹。
5.根据权利要求4所述的边缘环，其中，所述多个容纳螺纹包括内螺纹和外螺纹，其中所述外螺纹的直径大于所述内螺纹的直径。
6.根据权利要求4所述的边缘环，其中，所述多个螺钉插孔件中的每一个在所述多个容纳螺纹的上方具有非螺纹部分。
7.根据权利要求4所述的边缘环，其中，所述多个螺钉插孔件中的每一个具有倒角，其中，所述倒角位于所述多个容纳螺纹的下方。
8.根据权利要求7所述的边缘环，其中，所述倒角相对于所述底部环形表面形成45度的角度。
9.根据权利要求1所述的边缘环，其中，所述多个螺钉插件中的每一个具有非螺纹部分、多个容纳螺纹和倒角，其中所述非螺纹部分在所述多个容纳螺纹的上方，其中所述倒角位于所述多个容纳螺纹的下方。
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