[实用新型]光源装置及使用该光源装置的自动光学检测系统有效

申请号：	202022865077.9	申请日：	2020-12-03
公开（公告）号：	CN214668644U	公开（公告）日：	2021-11-09
发明（设计）人：	陈泳男;郑钦源	申请（专利权）人：	极智光电股份有限公司
主分类号：	G01N21/88	分类号：	G01N21/88;H01L21/66
代理公司：	北京集佳知识产权代理有限公司 11227	代理人：	郭化雨
地址：	中国台湾新竹***	国省代码：	台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	光源装置使用自动光学检测系统
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【说明书】：

本申请提供一种光源装置，包含一弧形壳体，一发光单元与一导光结构相间隔的设置于该弧形壳体内，该导光结构具有一入光面靠近该发光单元，以及相对该入光面的一出光面，该发光单元所发射的光线会在该导光结构内多次反射后均匀地照射至一待测物品表面。

技术领域

本申请是一种光源装置，特别是一种可供自动光学检测(Automatic OpticalInspection,AOI)设备使用的光源装置，以及使用前述光学组件的检测用光源，可以提高自动光学检测的准确度。

背景技术

自动光学检测技术在半导体制造过程中扮演重要脚色，为了避免后续制造的产品有缺陷，半导体制造过程中会以自动光学检测进行初步检验，检测过程中会使用发光二极管照射待测物品并以摄像机接收检测画面，而发光二极管照射至待测物品的光线强度会受到发光二极管的排列位置影响，容易使得待测物品受光不均匀，造成检测不够精准的问题。

实用新型内容

本申请所要解决的技术问题在于提供一种光源装置，特别是一种可供自动光学检测(Automatic Optical Inspection,AOI)设备使用的光源装置，能够提高自动光学检测的精准度。

根据本申请目的，提供一种光源装置，包含一弧形壳体，为一中空壳体且具有二开放端部，一发光单元设置于该弧形壳体内，该发光单元包含一印刷电路板及一发光二极管，该发光二极管设置于该印刷电路板的一表面，以及一导光结构，该导光结构设置于该弧形壳体内且与该发光单元相间隔，该导光结构具有一入光面靠近该发光单元的发光面及相对该入光面的一出光面。

较佳的，该导光结构包含有反射面能够涂布高反射材料或是设置光反射微结构，使该发光单元所发出的光线进入到出光面之前进行多次反射，使光线能够均匀照射至待测物品。

较佳的，该弧形壳体为规则弧形状或不规则的弧形状，用以检测不同形状的待测物并提高缺陷检测率。

此外，本申请进一步提供一种自动光学检测系统，包含有一摄像机，以及该光源装置，其中该摄像机接收该光源装置所发射的光线。

本申请通过弧形壳体而可以将待测物品设置于二开放端部之间，利用导光单元来形呈均匀的光线而照射于待测物品表面，提高自动光学检测的泛用性及精确度。

有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本申请的结构剖视图；

图2是本申请的光路示意图；

图3是本申请的第二实施例示意图；

图4A是待测物的成像均匀度模拟结果；

图4B是本申请第二实施例的成像均匀度模拟结果。