[实用新型]真空蒸镀用冷却板有效
申请号: | 202022867548.X | 申请日: | 2020-12-04 |
公开(公告)号: | CN213924987U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 史延锋;史延库 | 申请(专利权)人: | 苏州盟萤电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 包加健 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 蒸镀用 冷却 | ||
1.一种真空蒸镀用冷却板,其特征在于:包括
冷却板本体,其下表面形成水平冷却面;
边框,设于冷却板本体边缘;
多个弹性防粘机构,与边框连接;
其中,所述弹性防粘机构包括弹性部及将所述弹性部与所述边框连接的安装部,所述弹性部包括套筒、设于套筒内可相对于所述套筒上下移动的杆、设于所述杆上端的限位部及套设于所述杆上的弹簧,所述套筒内壁设有第一凸起,所述杆的外周设有第二凸起,所述第一凸起位于所述第二凸起上方并将所述弹簧限定在所述第一凸起与第二凸起之间,所述限位部与所述第一凸起配合限定所述杆向下移动,所述第二凸起与所述第一凸起配合限制所述杆向上移动;
所述冷却板本体上开设有供所述杆通过的通孔,无外力作用时,所述杆的下端突出所述冷却板本体的下方,当玻璃基板与冷却板本体叠加时,所述杆在玻璃基板的推动下向上移动,弹簧为压缩状态。
2.如权利要求1所述的真空蒸镀用冷却板,其特征在于:所述杆的下端还设有垫片,所述垫片的面积大于所述杆端部的面积。
3.如权利要求1所述的真空蒸镀用冷却板,其特征在于:所述弹性防粘机构的数量为四个,分设于所述边框相对的两条边上。
4.如权利要求1所述的真空蒸镀用冷却板,其特征在于:所述第一凸起为环状,所述第二凸起为环状。
5.如权利要求1所述的真空蒸镀用冷却板,其特征在于:所述安装部包括垂直固定的竖直安装板及水平安装板,所述竖直安装板位于所述边框的外侧面,所述水平安装板位于所述边框的顶面并向内延伸,其一端悬于所述冷却板本体上方,所述弹性部固定于所述水平安装板的一端。
6.如权利要求5所述的真空蒸镀用冷却板,其特征在于:所述水平安装板的延伸方向与所述边框的长度方向不垂直。
7.如权利要求5所述的真空蒸镀用冷却板,其特征在于:所述水平安装板的一端开设有螺纹孔,所述套筒穿设于所述螺纹孔内并与所述水平安装板螺纹配合。
8.如权利要求7所述的真空蒸镀用冷却板,其特征在于:所述套筒上端还设有限位螺母。
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