[实用新型]一种在真空中使用的卸压式气缸活塞气动元件

说明书

本实用新型公开了一种在真空中使用的卸压式气缸活塞气动元件，活塞在以气缸盖封口的筒状气缸内往返运动，活塞杆穿过气缸盖中心孔外伸，其特征是：所述的气缸盖设在气缸内，气缸盖与气缸内壁之间设有两道静密封、与活塞杆外壁之间设有两道动密封，在两道动密封圈之间、与活塞杆外壁接触的气缸盖表面上开有环形凹槽泄压气道，泄压气道的出口位于两道静密封之间并经泄压气嘴连通大气。本实用新型可适用于真空环境，且结构简单，巧妙地解决了真空环境中气缸内巨大压力差问题。

技术领域

本实用新型涉及一种气缸活塞气动元件，尤其是涉及一种在真空中使用的卸压式气缸活塞气动元件。

背景技术

气缸活塞气动元件是最常用的气动组件，在真空镀膜设备中使用许多气动装置，广泛应用气缸活塞气动元件作为驱动组件，比如气动真空阀门采用气缸活塞气动元件提升或关闭阀门，阴极电弧的引燃杆采用气缸活塞气动元件驱动其伸缩，立式镀镀机的上开式炉盖采用气缸活塞气动元件升降炉盖等。这些都是常用成熟的技术方案，气缸活塞组件大小、型号繁多，可满足各种动作功能需求。这些气缸活塞气动元件都是在大气环境中使用的，即气缸和活塞杆部分都安装在真空炉外，只有活塞杆的连接延伸杆通过真空动密封进入真空炉内，或者有些设计活塞杆本身部分通过真空动密封进入真空炉内，但气缸及其进出气口都设在大气环境中，气缸的密封只需承受用于推动活塞动作的缩空气压力对大气的压力差。

近来真空镀膜机有许多新技术的引入，比如多舱连续生产线、真空舱间的隔离阀门和机械手挂具转舱等非传统的新技术，带来许多机械结构和传动等新的要求，原有的传统技术方案不适合。一些传统的元器件在一些新环境使用也遇到一些新问题。比如上述的气缸活塞气动元件气动组件要放在真空环境中使用，气缸部分的气密性要承受压缩空气压力对高真空之间的巨大压力差，原来的密封设计变得不适用了。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题，就是要提供一种在真空中使用的卸压式气缸活塞气动元件，其可适用于真空环境，且结构简单，巧妙地解决了真空环境中气缸内巨大压力差问题。

解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种在真空中使用的卸压式气缸活塞气动元件，活塞在以气缸盖封口的筒状气缸内往返运动，活塞杆穿过气缸盖中心孔外伸，其特征是：所述的气缸盖设在气缸内，气缸盖与气缸内壁之间设有两道静密封、与活塞杆外壁之间设有两道动密封，在两道动密封圈之间、与活塞杆外壁接触的气缸盖表面上开有环形凹槽泄压气道，泄压气道的出口位于两道静密封之间并经泄压气嘴连通大气。

优选地，所述的气缸盖设在气缸内的结构为：气缸开口端内壁为外大内小环状阶梯结构，所述气缸盖的外径对应环状阶梯的大径、内端面以环状阶梯的小径定位、外端面以孔用弹性挡圈7.2固定。

优选地，所述的活塞两端面的圆周边沿均开有环状台阶作为气道，所述的气缸7对应活塞8滑动的左右极限处分别开有第一进出气嘴9和第二进出气嘴10连通气缸内腔，右边的第一进出气嘴9的通道口贴近气缸7底壁，左边第二进出气嘴10的通道口贴近气缸盖7.1的右端面处。

优选地，所述的活塞外径与气缸内壁之间设有两道动密封。

有益效果：本实用新型把气缸密封承受压力分成两段，一段承受原来的压缩空气对大气压力差，另一段承受大气压对高真空压力差，这种卸压式设计简单，巧妙地解决了气缸内巨大压力差难题。

附图说明

图1为本实用新型实施例活塞杆退缩至右极限位的剖视示意图；

图2为本实用新型实施例活塞杆伸出至左极限位的剖视示意图。

图中附图标记指代：

1-第一密封圈；2-第二密封圈；3-第三密封圈；4-第四密封圈；5-第五密封圈；6-第六密封圈；7-气缸；7.1-气缸盖；7.2-孔用弹性挡圈；8-活塞；8.1-活塞杆；9-第一进出气嘴；10-第二进出气嘴；11-卸压气嘴。