[实用新型]一种新型喷淋蚀刻设备用卷帘门

说明书

本实用新型公开了一种新型喷淋蚀刻设备用卷帘门，包括蚀刻腔，所述蚀刻腔顶端贯穿有PVC门，所述PVC门一端面两侧均设置有卷帘，所述卷帘顶端内侧缠绕有卷轴，所述卷轴一端固定有电动机，所述卷帘前端设置有定位轴辊，所述定位轴辊外部通过轴柱转动连接有安装架，所述安装架一端设置有横板；本实用新型通过设计的电动机和卷帘，电动机对卷帘提供收放，从而实现对PVC门的牵引提升，同时其卷帘具有超低故障率以及耐腐蚀性，通过设计的连接杆，连接杆安装在横板和安装架之间，进而保证定位轴辊受到过度作用力时而进行滑移，不会发生损坏。

技术领域

本实用新型属于喷淋式蚀刻机门技术领域，具体涉及一种新型喷淋蚀刻设备用卷帘门。

背景技术

喷淋式蚀刻机在工作中，为避免其内部液体溅出，进而在其腔体端口处装设有PVC门，全透明PVC式的蚀刻门具有抗负压能力强，同时其是透明视窗，可以很好的观察设备内部状态。

现有的PVC门提升一般是使用气缸或者直线齿条加齿轮驱动的方式，由于材料以及强酸性环境的影响，故障率高更换齿轮齿条或者气缸工作量大耗时，严重影响设备稼动率，进而需要将其连接提升方式进行更换为卷帘提升方式，保持现有PVC门的优势，同时使用全新的升级驱动方式，结合卷帘的超低故障率以及耐腐蚀性，设计出全新的蚀刻升降门，该中卷帘提升方式在提升过程中，使用定位轴辊对其卷帘的转角处进行挤压，以保证提升的笔直性，但是实际操作中，卷帘在电机的收放下，产生一定的偏向牵引作用，对其进行牵引，进而对定位轴辊实现挤压，导致其定位轴辊受到挤压形变后不可恢复，从而无法对后期卷帘收放进行挤压限位的问题，为此我们提出一种新型喷淋蚀刻设备用卷帘门。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型喷淋蚀刻设备用卷帘门，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型喷淋蚀刻设备用卷帘门，包括蚀刻腔，所述蚀刻腔顶端贯穿有PVC门，所述PVC门一端面两侧均设置有卷帘，所述卷帘顶端内侧缠绕有卷轴，所述卷轴一端固定有电动机，所述卷帘前端设置有定位轴辊，所述定位轴辊外部通过轴柱转动连接有安装架，所述安装架一端设置有横板，所述横板表面开设有安装孔，所述安装孔内部贯穿有连接杆，所述连接杆一端固定在安装架端面，所述连接杆一端外部套设有弹簧。

优选的，所述弹簧位于安装架与横板之间，所述连接杆的纵截面为T字型结构。

优选的，所述横板一端固定有支架，所述支架一侧设置有固定座，所述固定座固定在电动机底部。

优选的，所述固定座底部两侧均固定有加固筋板，所述加固筋板与固定座之间的夹角为锐角。

优选的，所述卷帘底部设置有固定压块，所述固定压块与PVC门通过螺钉固定。

优选的，所述PVC门两侧均设置有升降限位块，所述升降限位块的横截面为U字型结构。

优选的，所述升降限位块为UPE材质构件，所述PVC门为高透明PVC材质构件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过设计的电动机和卷帘，电动机对卷帘提供收放，从而实现对PVC门的牵引提升，同时其卷帘具有超低故障率以及耐腐蚀性，通过设计的连接杆，连接杆安装在横板和安装架之间，进而保证定位轴辊受到过度作用力时而进行滑移，不会发生损坏，通过设计的弹簧，弹簧具有良好的弹性，进而对装有定位轴辊的安装架提供弹力挤压，保证其定位轴辊可以自行恢复形变，从而时刻对卷帘进行挤压。

(2)通过设计的加固筋板，固定在固定座顶端底部，对其实现加固支撑，通过设计的升降限位块，升降限位块置于PVC门侧部，从而对PVC门升降实现限位，同时升降限位块为UPE材质构件，具有自润滑性，从而不会影响PVC门的提升。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；