[实用新型]节能型锭生长装置

说明书

本实用新型公开节能型锭生长装置。本实用新型的节能型锭生长装置包括：腔室，在内部设置有坩埚，为了使得硅熔融而通过热源来对上述坩埚进行加热；侧面绝热材料，以对上述坩埚的侧面进行绝热的方式设置于上述腔室的内侧；以及观察部，以能够观察上述坩埚的内部的方式贯通上述腔室和侧面绝热材料来设置。

技术领域

本实用新型涉及丘克拉斯基锭生长装置，更具体地，涉及节能型锭生长装置。

背景技术

通常，在使用丘克拉斯基法的生长炉(Grower)中，为了测定锭的直径以及在坩埚的内部熔融硅的高度等级(Melt Level)，使用电荷耦合器件(CCD)等的视觉摄像头(VisionCamera)以及直径测定用传感器(激光((Laser)传感器等)，这将通过设置于腔室(Chamber)的上部或侧部的观察孔(View Port)来对正在生长的锭的直径或熔融硅的液面高度水平进行测定。

在现有技术的丘克拉斯基生长炉中，为了阻断热能的损失，在坩埚的侧面部和下部设置绝热材料，但为了在生长炉的上部及上部侧面设置用于测定锭的直径的电荷耦合器件等的视觉摄像头以及激光传感器等并确保摄像头等的传感器与测定对象物之间的视野，绝热材料的设置将受到限制。尤其，在通过观察孔测定锭的直径的情况下，需确保用于直接观察锭与熔融硅之间的接触部位的视野，这就导致辐射能从包括上述接触部位在内的熔融硅的整个液面直接通过观察孔释放，因而能量损失大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供如下的节能型锭生长装置，即，不仅在锭生长装置的腔室的侧面部及下部设置绝热材料，还在腔室的上侧部设置绝热材料，来形成提高腔室内的绝热性能的结构。

本实用新型一实施方式的节能型锭生长装置可包括：腔室，在内部设置有坩埚，为了使得硅熔融而通过热源来对上述坩埚进行加热；侧面绝热材料，以对上述坩埚的侧面进行绝热的方式设置于上述腔室的内侧；以及观察部，以能够观察上述坩埚的内部的方式贯通上述腔室和侧面绝热材料来设置。

在此情况下，上述观察部可包括：镜头部件，用于观察上述坩埚的内部；以及延伸部件，通过贯通上述腔室及上述侧面绝热材料来向上述腔室的内部延伸，在内侧端部设置有上述镜头部件。

在此情况下，本实用新型可包括设置于上述延伸部件的内部的冷却流路。

在此情况下，本实用新型可包括气体流路，设置于上述延伸部件的一侧，能够使得为了清洗上述镜头而向上述镜头喷射的气体进行流动。

在此情况下，上述延伸部件能够以能够调节向上述腔室插入的长度的方式形成。

在此情况下，上述延伸部件能够以向上述腔室插入的端部朝向下侧倾斜的方式形成。

在此情况下，在上述坩埚的上部，除了使锭生长的中心部之外，可设置对上述坩埚的上部进行覆盖的反射板，上述观察部可配置于上述反射板与上述坩埚之间。

在此情况下，在上述反射板中，除了使锭生长的中心部之外，可在形成上述反射板的整个本体设置绝热材料。

在此情况下，在除了上述坩埚的上部中的使锭通过的中心部之外的其他部分，上部绝热材料可设置于上述腔室的内侧。

在此情况下，上述观察部可包括能够使上述延伸部件沿着上述腔室的内侧方向进行伸缩的驱动部。

在此情况下，上述驱动部可包括：框架，固定于上述腔室；驱动部件，以能够沿着上述引导件进行直线移动的方式设置，上述延伸部件的一侧固定于上述驱动部件；以及驱动气缸，一端固定于上述框架，一端部固定于上述驱动部件，随着驱动上述驱动气缸，上述驱动部件沿着延伸方向前进或后退，从而可调节上述延伸部件向腔室的内部插入的长度。

根据上述结构，本实用新型的节能型锭生长装置去除了观察孔，因而还可在从观察孔到被观察的熔融硅液面为止的部分设置绝热材料，从而可提高绝热效果。