[实用新型]一种半导体硅片抛光用下载暂存机构

权利要求书

1.一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，包括若干相邻而设的下载装置，所述下载装置具有：

存有一定溶液并使溶液缓冲流动的下载放置组件；

和用于支撑所述硅片并可上下移动的下载支撑组件；

其中，置于所述下载放置组件内的溶液可完全与所述硅片抛光面接触；所述下载支撑组件贯穿所述下载放置组件设置；连接所述下载支撑组件中与所述硅片的接触点所围成图形的外接圆与所述硅片同径。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，所述下载放置组件包括：

下载盘；

和至少在所述下载盘中心设置的下载溢流孔；

其中，所述下载盘为双层结构，具有用于存储溶液的内层槽和与所述内层槽一体连接的外层槽；

所述下载盘固设于所述下载支撑组件上且与所述下载支撑组件同轴设置。

3.根据权利要求2所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，所述外层槽与所述内层槽轮廓相适配；所述外层槽与所述内层槽的连接层的高度低于所述外层槽的外壁高度。

4.根据权利要求2或3所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，在所述外层槽中设有若干用于被所述下载支撑组件贯穿设置的凸耳，所述凸耳与所述外层槽一体连接设置。

5.根据权利要求4所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，在所述外层槽的外壁面的上端面设有若干凹槽，所述凹槽均匀设置。

6.根据权利要求5所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，所述凹槽均设置在相邻所述凸耳之间的所述外层槽上。

7.根据权利要求5或6所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，所述下载支撑组件包括：

若干沿所述外层槽周缘设置的下载柱；

用于固定所述下载柱的下载放置架；

其中，所述下载柱穿过所述凸耳并与所述硅片的侧壁面接触并使所述硅片的抛光面靠近所述下载盘中一侧设置；

所述下载放置架位于所述下载盘下方，且与所述下载柱的下端面连接设置。

8.根据权利要求7所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，所述下载柱的下段部位柱体，其上段部为圆锥体，且所述上段部的高度小于所述下段部的高度；所述上段部的母线夹角不大于45°。

9.根据权利要求8所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，所述下载放置架包括中心环形架和向外延伸且与所述环形架一体设置的T型架，所述环形架被置于所述下载盘中心处的所述下载溢流孔贯穿设置；所述T型架远离所述环形架的一端连接相邻所述下载柱。

10.根据权利要求8或9所述的一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，所述下载支撑组件还包括用于驱动所述下载放置架升降移动的下载驱动源，所述下载驱动源置于位于所述下载放置架下方，并与所述下载放置架同轴设置。