[实用新型]探针装置

说明书

本实用新型提供一种探针装置，其包含，一讯号传输元件，其包含一第一传输部与一第二传输部，一探针，其一端电性连接并设置于该第二传输部一下方，一下固定元件，其设置于该讯号传输元件的一下方，该下固定元件的一端具有一第一贯穿孔及一端的一下方具有一第一凹槽，该探针穿设于该下固定元件的该第一贯穿孔，该探针位于该第一凹槽；借由下固定元件补偿讯号传输元件的机械强度，使得讯号传输元件得以缩减宽度，而达成探针装置密集排列的功效。

技术领域

本实用新型是关于一种探针装置，尤其指一种具有讯号传输元件以及上下固定件的探针装置。

背景技术

集成电路的检查项目可谓琳琅满目，例如包含短路、断路、讯号失真、电压准位、阻抗等电气特性和元件功能等，因为集成电路的具有大量接点，不可能逐一接点进行上述检查，因此便有探针卡的问世；除此的外，显示面板的数组基板也布满大量晶体管、导线与接垫，同样需要使用探针卡以对成品与半成品进行检测。

探针卡的设计依照需要检查的每一上述节点的相对位置设置一探针，以及对应于受检电路上的一辨识符号而设置一对位符号；使用探针卡时先将探针卡上的对位符号对准受检电路上的辨识符号以完成对位，然后透过探针经由该些节点对集成电路中的各式电子元件及导线施加各种测试讯号，以及接收响应的讯号再经由计算机程序计算而产生检测结果。

其中，悬臂型探针卡最早被开发且应用范围最广的探针卡，其探针主要的长度部分呈水平方向朝被检测电路的接垫延伸，末端再转折一角度或直接以水平姿态与被检测电路的接垫接触，此种探针卡一般以环氧树脂的类的热塑性塑料将复数探针固定，每根探针悬臂均需校正其弹力于一特定范围内。

而且于应用于具有高密度接垫的高频电子元件的检测时，为使悬臂式探针不易变形而影响检测结果，悬臂式探针必须保持一定的厚度或直径以探针维持适当刚性与弹性，因此无法过于密集并排而难以对应具有高密度接垫的高频电子元件的检测，虽然有业者开发透过不同长度的探针三维交替排列方式达成大量探针的高密度排列，但如此会有探针受力不均而对待测元件的接垫产生刺破的问题。

受益于光刻技术的进步，另有业者发展微机电型探测卡以大量批次生产探针，其是利用电镀的步骤再配合光刻技术来达到高精度微细探针的制作，并且结合压电材料，使得每根探针具有压强制反馈的设计，确保探针接触力一致，将不必要的影响因素降到最低，提高测试结果可靠度。但是随着高频电子元件的接垫的密度越来越密集，被测电路表面平坦度不均因而产生的接点高低落差问题，探针必须能够对应每一高低不同的接点而仍保持良好的电性接触，因此，每根探针的设计必须具有弹性以避免探针太大的接触力差异性太大，导致芯片破损或探针损坏以及检测结果失准。然而此种可顺应高度差异的探针必须使用电镀以及光刻法制造，制造相当困难故制造费用居高不下，此外，还需订制价格昂贵的专用的光罩，因此，一直有成本过高的问题。

综合上述习知技术的问题可知，市场上亟需一种便于维修保养、不易损伤被测电路接点、低制造成本且低操作成本的高密度排列探针装置。有鉴于此，本实用新型提供的探针装置兼具多段弹性缓冲与垂直抵接特征，可以满足维修容易、不损伤被测电路、高密度排列以及低成本的需求。

实用新型内容

本实用新型的一目的，在于提供一种探针装置，其将探针装置区分为：讯号导出元件、讯号传输元件、下固定元件与探针；利用下固定元件上方设置讯号传输元件，以对宽度与厚度缩小后的讯号传输元件补强机械强度，而可适用更细小的探针，以达成维修容易、不损伤被测电路、高密度排列以及低成本的目的。

本实用新型的另一目的，在于提供一种探针装置，其利用包含宽度不同第一传输部、第二传输部的讯号传输元件，使第一传输部的弹性较第二传输部好，并于具弹性的第一传输部下方设置探针，以达成避免探针损伤被测电路的目的。