[实用新型]一种激光光路与成像光路同轴独立调焦设备

说明书

本实用新型涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种激光光路与成像光路同轴独立调焦设备，包括安装底板、调焦装置、聚焦镜头、45°反射成像镜片、工业相机、变倍镜头、激光光束和样品，所述调焦装置固定连接在安装底板正面的一侧，所述聚焦镜头设在调焦装置的底部，所述45°反射成像镜片设在聚焦镜头的底部，所述45°反射成像镜片由45°反射镜片和成像镜片组成。本实用新型激光光束通过高度调节装置上下移动聚焦镜头，激光光束透过45°反射成像镜片中的45°反射镜片后辐射到样品上，样品同时在成像光源的照明下，其反射光经过45°反射镜片，经过成像镜片后聚焦到工业相机，形成图像后供使用者实时观察激光辐射对样品产生的效果。

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，具体为一种激光光路与成像光路同轴独立调焦设备。

背景技术

在利用脉冲激光制备材料表面的功能性结构过程中，激光会在极短的时间内辐射到材料表面，以引起材料表面发生气化、烧蚀、熔化和氧化等多种热力学过程。因此，系统地研究激光与物质相互作用过程中的瞬态变化，对于提高光电子和微电子器件的制造工艺水平具有非常重要的意义。

利用成像技术记录激光作用到材料表面所引起材料形貌学的变化是一种有效的方法，它可以在纳米精度的时间范围内直接观察高能激光在辐射到材料后所引起材料表面形貌学的瞬态演变过程，然而，现在成像系统不利于对激光光束的观察需要，为此，设计了一种激光光路与成像光路同轴独立调焦设备。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种激光光路与成像光路同轴独立调焦设备，具备便于使用的优点，解决了现在成像系统不利于对激光光束的观察需要的问题。

为解决上述的技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种激光光路与成像光路同轴独立调焦设备，包括安装底板、调焦装置、聚焦镜头、45°反射成像镜片、工业相机、变倍镜头、激光光束和样品，所述调焦装置固定连接在安装底板正面的一侧，所述聚焦镜头设在调焦装置的底部，所述45°反射成像镜片设在聚焦镜头的底部，所述45°反射成像镜片由45°反射镜片和成像镜片组成，所述工业相机固定连接在安装底板正面的底部，所述变倍镜头转动连接在工业相机的输出端，所述样品设在45°反射成像镜片的底部，所述激光光束穿过聚焦镜头和45°反射成像镜片辐射到样品11上并在样品11上形成激光聚焦平面。

进一步地，所述调焦装置的一侧固定连接有高度调节装置，所述高度调节装置的输出端固定连接有支撑台，所述聚焦镜头固定连接在支撑台的中部。

进一步地，所述安装底板正面一侧的中部固定连接有调节架，所述45°反射成像镜片固定连接在调节架的侧面。

进一步地，所述安装底板正面底部的中部固定连接有固定座，所述工业相机固定连接在固定座的内部。

进一步地，所述安装底板底部的一侧固定连接有竖板，所述竖板正面的底部固定连接有支撑板，所述样品放置在支撑板的顶部。

进一步地，所述安装底板的一侧设有成像光源，所述成像光源与样品的位置相对应。

借由上述技术方案，本实用新型提供了一种激光光路与成像光路同轴独立调焦设备，至少具备以下有益效果：

1、该激光光路与成像光路同轴独立调焦设备，激光光束通过高度调节装置上下移动聚焦镜头，激光光束透过45°反射成像镜片中的45°反射镜片后辐射到样品上，样品同时在成像光源的照明下，其反射光经过45°反射镜片，经过成像镜片后聚焦到工业相机，形成图像后供使用者实时观察激光辐射对样品产生的效果。

2、该激光光路与成像光路同轴独立调焦设备，通过高度调节装置可调节聚焦镜头的高度可以独立优化激光光斑大小，但不影响样品的成像清晰度，样品在外部成像光源照射下产生的反射光，经过45°反射镜片后进入成像镜片，调节架可调节反射光进入成像镜片的位置和角度，从而优化工业相机对样品的成像效果。

附图说明