[实用新型]一种DFN划片提高效率装置有效
申请号: | 202022889784.1 | 申请日: | 2020-12-04 |
公开(公告)号: | CN213519914U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 刘冠蓝 | 申请(专利权)人: | 深圳市鑫洲芯微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市凯博企服专利代理事务所(特殊普通合伙) 44482 | 代理人: | 肖静杰 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 dfn 划片 提高效率 装置 | ||
1.一种DFN划片提高效率装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部的两侧均固定安装有活动仓(2),所述活动仓(2)的内部活动安装有滚珠丝杠(3),所述活动仓(2)的后端固定连接有第一电机仓(8),所述第一电机仓(8)的内部固定安装有第一电机(7),所述第一电机(7)的输出轴贯穿活动仓(2)与滚珠丝杠(3)固定连接,所述滚珠丝杠(3)的外表面螺纹套接有活动块(4),所述活动块(4)的外端固定安装有伸缩杆(5),所述伸缩杆(5)的伸出端固定连接有夹持装置(6),所述夹持装置(6)包括第二电机仓(601),所述第二电机仓(601)的后端与伸缩杆(5)的伸出端固定连接,所述第二电机仓(601)的内部固定安装有第二电机(602),所述第二电机(602)的输出轴固定连接有安装仓(603),所述安装仓(603)的顶部固定连接有第三电机仓(604),所述第三电机仓(604)的内部固定安装有第三电机(605),所述第三电机(605)的输出轴贯穿安装仓(603)至内部且固定连接有调节齿轮(606),所述调节齿轮(606)的内侧啮合连接有内齿条(607),所述调节齿轮(606)的外端啮合连接有外齿条(608),所述内齿条(607)与外齿条(608)远离调节齿轮(606)的一端分别固定连接有前夹板(609)与后夹板(610)。
2.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有放置台(9),所述放置台(9)的顶部固定安装有橡胶垫。
3.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述底座(1)正面的右端固定安装有控制器(10),且所述控制器(10)分别与伸缩杆(5)、第一电机(7)、第二电机(602)和第三电机(605)电连接。
4.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述前夹板(609)与后夹板(610)互相贴近的一侧均设有防护垫,所述防护垫为橡胶制成的垫片。
5.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述内齿条(607)与外齿条(608)相接触时,所述前夹板(609)与后夹板(610)达到最小夹持距离,所述内齿条(607)与外齿条(608)分别与安装仓(603)两端的内壁接触时,所述前夹板(609)与后夹板(610)达到最大夹持距离。
6.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述滚珠丝杠(3)的外表面设有外螺纹,所述活动块(4)的内壁设有内螺纹,且内螺纹与外螺纹相适配。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造