[实用新型]一种DFN划片提高效率装置有效

专利信息
申请号: 202022889784.1 申请日: 2020-12-04
公开(公告)号: CN213519914U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 刘冠蓝 申请(专利权)人: 深圳市鑫洲芯微电子有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 深圳市凯博企服专利代理事务所(特殊普通合伙) 44482 代理人: 肖静杰
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 dfn 划片 提高效率 装置
【权利要求书】:

1.一种DFN划片提高效率装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部的两侧均固定安装有活动仓(2),所述活动仓(2)的内部活动安装有滚珠丝杠(3),所述活动仓(2)的后端固定连接有第一电机仓(8),所述第一电机仓(8)的内部固定安装有第一电机(7),所述第一电机(7)的输出轴贯穿活动仓(2)与滚珠丝杠(3)固定连接,所述滚珠丝杠(3)的外表面螺纹套接有活动块(4),所述活动块(4)的外端固定安装有伸缩杆(5),所述伸缩杆(5)的伸出端固定连接有夹持装置(6),所述夹持装置(6)包括第二电机仓(601),所述第二电机仓(601)的后端与伸缩杆(5)的伸出端固定连接,所述第二电机仓(601)的内部固定安装有第二电机(602),所述第二电机(602)的输出轴固定连接有安装仓(603),所述安装仓(603)的顶部固定连接有第三电机仓(604),所述第三电机仓(604)的内部固定安装有第三电机(605),所述第三电机(605)的输出轴贯穿安装仓(603)至内部且固定连接有调节齿轮(606),所述调节齿轮(606)的内侧啮合连接有内齿条(607),所述调节齿轮(606)的外端啮合连接有外齿条(608),所述内齿条(607)与外齿条(608)远离调节齿轮(606)的一端分别固定连接有前夹板(609)与后夹板(610)。

2.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有放置台(9),所述放置台(9)的顶部固定安装有橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述底座(1)正面的右端固定安装有控制器(10),且所述控制器(10)分别与伸缩杆(5)、第一电机(7)、第二电机(602)和第三电机(605)电连接。

4.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述前夹板(609)与后夹板(610)互相贴近的一侧均设有防护垫,所述防护垫为橡胶制成的垫片。

5.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述内齿条(607)与外齿条(608)相接触时,所述前夹板(609)与后夹板(610)达到最小夹持距离,所述内齿条(607)与外齿条(608)分别与安装仓(603)两端的内壁接触时,所述前夹板(609)与后夹板(610)达到最大夹持距离。

6.根据权利要求1所述的一种DFN划片提高效率装置,其特征在于:所述滚珠丝杠(3)的外表面设有外螺纹,所述活动块(4)的内壁设有内螺纹,且内螺纹与外螺纹相适配。

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