[实用新型]一种用于清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐有效
申请号: | 202022893874.8 | 申请日: | 2020-12-07 |
公开(公告)号: | CN213887476U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 陈梦楠 | 申请(专利权)人: | 江苏神汇新材料科技有限公司 |
主分类号: | B08B9/08 | 分类号: | B08B9/08;C30B15/00 |
代理公司: | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人: | 刘喜莲;马强 |
地址: | 222000 江苏省连*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 清理 单晶炉内 杂质 吸杂罐 | ||
1.一种用于清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐,其特征在于:该吸杂罐包括罐体,罐体的一端采用密封板密封,罐体的另一端插装有吸杂管,吸杂管的一端由外至内贯穿罐体、并延伸至罐体的内部,在罐体内的吸杂管与罐体的内壁之间形成有便于盛装杂质底料的吸杂腔室,在罐体内的吸杂管的端部与密封板之间形成有便于杂质底料进入吸杂腔室的吸杂间隙。
2.根据权利要求1所述的用于清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐,其特征在于:所述吸杂管垂直插装在罐体上。
3.根据权利要求1所述的用于清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐,其特征在于:所述罐体呈圆柱状,密封板呈圆盘状,吸杂管呈圆管状。
4.根据权利要求3所述的用于清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐,其特征在于:所述罐体的直径为200-400mm,罐体的高度为250-400mm,罐体的厚度为8-20mm;密封板的厚度为10-40mm;吸杂管的总长度为280-400mm,罐体外的吸杂管的长度为70-150mm,吸杂管的内径为10-20mm,吸杂管的厚度为8-30mm。
5.根据权利要求1所述的用于清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐,其特征在于:吸杂管侧的罐体的端部均设置有倒圆角。
6.根据权利要求1所述的用于清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐,其特征在于:所述罐体、密封板、吸杂管均采用高纯二氧化硅或氧化铝制成。
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