[实用新型]一种单晶拉晶炉

说明书

本申请公开了一种单晶拉晶炉，所述拉晶炉的炉盖上开设至少两个用于容纳提升杆的通孔，所述提升杆的上部与提升驱动部件连接，下部与用于承载保温桶的提升装置连接，所述提升驱动部件用于驱动所述提升杆带动所述提升装置上移使所述保温桶离开炉体主室，以使所述炉体主室内的配件与炉壁进行直接的热交换。本申请提供的上述单晶拉晶炉，能够将保温桶与热场内部配件脱离，使内部配件与炉台内壁直接进行换热，从而大幅度提升冷却能力，缩短拉晶炉的冷却时间。

技术领域

本实用新型属于半导体生产设备技术领域，特别是涉及一种单晶拉晶炉。

背景技术

利用拉晶炉拉制单晶的主要工序包括装炉、抽真空、检漏、熔料、熔接、缩颈、引晶、放肩、等径、收尾、取段、加料、熔接等，当坩埚运行到一定时间后，炉台进行拉停，功率降为零，炉台通过氩气冷却，冷却过程中虽然功率降为零，但加热系统和护盘压片都为石墨件，比热容比较大，也就是说内部蓄热能力较大，在同种情况下，保温桶为碳碳材质，坩埚为二氧化硅材质，比热容都比较大，除此之外坩埚中存在部分埚底料，内部含有的能量也比较大。由于保温桶无法与外界进行热交换，因此，拉晶停炉后，以上物件中的热量只能通过氩气媒介来进行热量传递，这就导致降温速率比较慢，开炉时间普遍大于7个小时。

随着目前炉台热场尺寸的增加，内部各个部件的蓄热量越来越大，通过氩气来冷却的时间也就越来越长，目前36英寸热场的停炉时间达到10小时以上，高温开炉(400℃)也加速了热场部件的氧化速率，降低热场配件的使用寿命，同时停炉对单晶产能影响所占的比重越来越大。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种单晶拉晶炉，能够将保温桶与热场内部配件脱离，使内部配件与炉台内壁直接进行换热，从而大幅度提升冷却能力，缩短拉晶炉的冷却时间。

本实用新型提供的一种单晶拉晶炉，所述拉晶炉的炉盖上开设至少两个用于容纳提升杆的通孔，所述提升杆的上部与提升驱动部件连接，下部与用于承载保温桶的提升装置连接，所述提升驱动部件用于驱动所述提升杆带动所述提升装置上移使所述保温桶离开炉体主室，以使所述炉体主室内的配件与炉壁进行直接的热交换。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述提升杆的外部与所述通孔接触的部位套设有波纹管。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述提升驱动部件置于所述炉盖上方焊接的支撑平台上。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述通孔之间还利用软轴相连接。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述波纹管还设置有上限位开关和下限位开关。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述提升杆的下部具有开孔，且所述提升装置具有连接块，所述开孔和所述连接块之间利用绳子连接以实现所述提升杆和所述提升装置的连接。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述绳子为钼丝绳。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述绳子的长度比所述保温桶的有效提升高度大150mm。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述提升驱动部件为步进电机。

优选的，在上述单晶拉晶炉中，所述提升装置包括与所述保温桶的底部相匹配的环状基座，所述环状基座具有多个沿径向向内延伸的保温桶承载部，所述环状基座具有向上延伸的多个用于与所述提升杆连接的连接块。

通过上述描述可知，本实用新型提供的上述单晶拉晶炉，由于所述拉晶炉的炉盖上开设至少两个用于容纳提升杆的通孔，所述提升杆的上部与提升驱动部件连接，下部与用于承载保温桶的提升装置连接，所述提升驱动部件用于驱动所述提升杆带动所述提升装置上移使所述保温桶离开炉体主室，以使所述炉体主室内的配件与炉壁进行直接的热交换，因此能够将保温桶与热场内部配件脱离，使内部配件与炉台内壁直接进行换热，从而大幅度提升冷却能力，缩短拉晶炉的冷却时间。

附图说明