[实用新型]晶片光阻去除装置

权利要求书

1.晶片光阻去除装置，其特征在于：晶片光阻去除装置，包括机台(1)，所述机台(1)上方设置有顶板(2)，顶板(2)底端设置有滑轨(3)，所述滑轨(3)上设置有操纵臂(4)，操纵臂(4)底端设置有载具(5)，所述机台(1)内部左侧设置有紫外线箱(7)，紫外线箱(7)右侧设置有剥离箱(9)，所述剥离箱(9)内底端设置有加热件(10)，剥离箱(9)两侧设置有超声装置(11)，所述剥离箱(9)右侧设置有清洗箱(12)，清洗箱(12)内部设置有滤网(13)，清洗箱(12)内底端设置有导流板(14)，所述清洗箱(12)底端设置有排水管(15)，排水管(15)一端与清洗箱(12)相通，另一端上设置有导水箱(16)，所述导水箱(16)右侧设置有抽水管(17)，抽水管(17)一端设置有泵体(18)，所述泵体(18)一端设置有导水管(19)，导水管(19)一端与清洗箱(12)相通，所述机台(1)上设置有PLC控制器(6)。

2.根据权利要求1所述的晶片光阻去除装置，其特征在于：所述清洗箱(12)内壁两侧设置有卡块(20)，所述滤网(13)与卡块(20)相适配，卡块(20)与滤网(13)可活动连接。

3.根据权利要求1所述的晶片光阻去除装置，其特征在于：所述导流板(14)为倾斜设置，导流板(14)底面与排水管(15)相对应，所述排水管(15)上设置有电磁阀。

4.根据权利要求3所述的晶片光阻去除装置，其特征在于：所述电磁阀与PLC控制器(6)电连接，所述操纵臂(4)与PLC控制器(6)电性连接。

5.根据权利要求1所述的晶片光阻去除装置，其特征在于：所述紫外线箱(7)内部设置有数个紫外线灯管(8)，所述紫外线灯管(8)竖直设置在紫外线箱(7)内壁上。

6.根据权利要求1所述的晶片光阻去除装置，其特征在于：所述紫外线箱(7)、剥离箱(9)和清洗箱(12)均为不锈钢材质。