[实用新型]一种超精密运动台防漂移电机

权利要求书

1.一种超精密运动台防漂移电机，其特征在于，包括：

永磁体阵列定子组件(100)，所述永磁体阵列定子组件(100)相对设置，每个所述永磁体阵列定子组件(100)包括背板(101)、主永磁体(102)和附永磁体(103)，所述主永磁体(102)和所述附永磁体(103)以Halbach阵列形式安装于所述背板(101)上，且相邻的所述主永磁体(102)和所述附永磁体(103)的磁场方向相互垂直；

侧板(200)，所述侧板(200)相对设置，每个所述侧板(200)与所述背板(101)相垂直，每个所述侧板(200)分别与每个所述背板(101)相连接；以及

线圈动子组件(300)，所述线圈动子组件(300)位于所述永磁体阵列定子组件(100)和所述侧板(200)形成的腔体内，且所述线圈动子组件(300)与所述永磁体阵列定子组件(100)之间具有间隙。

2.根据权利要求1所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，各所述主永磁体(102)的宽度D1与各所述附永磁体(103)的宽度D2的比值介于(13:12)-(17:8)之间。

3.根据权利要求1所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，各所述主永磁体(102)和各所述附永磁体(103)的材质均为高剩磁的永磁材料。

4.根据权利要求3所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，各所述主永磁体(102)和各所述附永磁体(103)的材质为烧结钕铁硼N52h材料。

5.根据权利要求1所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，所述侧板(200)的材质为不锈钢。

6.根据权利要求1所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，所述线圈动子组件(300)包括线圈骨架(310)和线圈(320)，所述线圈骨架(310)包括相互连接的第一骨架(311)和第二骨架(312)，所述第一骨架(311)和所述第二骨架(312)相邻的一端均设置有第一凹槽(313)，所述第一凹槽(313)用于容纳所述线圈(320)。

7.根据权利要求6所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，所述线圈动子组件(300)还包括水道(340)和水冷盖板(330)，所述第一骨架(311)和/或所述第二骨架(312)相互远离的一端设置有第二凹槽，所述第二凹槽用于形成所述水道(340)，所述水冷盖板(330)盖设于所述水道(340)上。

8.根据权利要求7所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，还包括进水管(350)和出水管(360)，所述进水管(350)和所述出水管(360)分别与所述水道(340)相连通。

9.根据权利要求1所述的超精密运动台防漂移电机，其特征在于，每个所述永磁体阵列定子组件(100)的内表面与所述线圈(320)的外端面之间的距离t1介于3mm-4mm之间。