[实用新型]一种工件表面杂质离化装置有效
申请号: | 202022896365.0 | 申请日: | 2020-12-04 |
公开(公告)号: | CN214400278U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 杜斌;卢军 | 申请(专利权)人: | 苏州鼎利涂层有限公司 |
主分类号: | C04B41/91 | 分类号: | C04B41/91 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 郭建军 |
地址: | 215132 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工件 表面 杂质 化装 | ||
本实用新型涉及工件表面除杂技术领域,且公开了一种工件表面杂质离化装置,包括底座,所述底座下侧的侧壁对称固定连接有两个支撑板,所述底座上侧的侧壁固定连接有固定板,所述固定板左侧的侧壁开设有滑动孔,所述滑动孔内活动套接有滑动杆,所述滑动杆的两端均伸出滑动孔,所述底座上侧的侧壁固定连接有竖板,所述竖板位于固定板的右侧,所述竖板右侧的侧壁开设有安装孔,所述安装孔内活动套接有移动杆。本实用新型能够使电离液与工件接触量增加,有效的提高了离化装置的除杂效率。
技术领域
本实用新型涉及工件表面除杂技术领域,尤其涉及一种工件表面杂质离化装置。
背景技术
碳化硅是一种电子工件常用的原材料,碳化硅工件表面的杂质去除需要使用杂质离化的方式进行去除,将碳化硅放入离化槽中,将入电离液进行离化处理。
现有的杂质离化用离化槽在使用时,离化槽是静置,导致离化槽内的电离液是静止的,导致电离液与工件接触量较小,从而导致工件的除杂效率降低。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中离化槽静置导致除杂效率降低的问题,而提出的一种工件表面杂质离化装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种工件表面杂质离化装置,包括底座,所述底座下侧的侧壁对称固定连接有两个支撑板,所述底座上侧的侧壁固定连接有固定板,所述固定板左侧的侧壁开设有滑动孔,所述滑动孔内活动套接有滑动杆,所述滑动杆的两端均伸出滑动孔,所述底座上侧的侧壁固定连接有竖板,所述竖板位于固定板的右侧,所述竖板右侧的侧壁开设有安装孔,所述安装孔内活动套接有移动杆,所述移动杆的两端均伸出安装孔,所述滑动杆与移动杆之间固定连接有同一个离化槽,所述离化槽的槽底固定连通有排放阀,所述滑动杆的杆壁活动套设有压缩弹簧,所述压缩弹簧位于固定板与离化槽之间,所述底座上侧的侧壁固定连接有安装座,所述安装座上侧的侧壁固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出轴固定连接有转轴,所述转轴外固定套设有偏心轮,所述偏心轮与移动杆位于同一水平线,所述滑动孔与安装孔的孔壁均固定连接有四个安装块,所述安装块的侧壁开设有安装槽,所述安装槽内转动连接有滚珠,所述滑动杆与移动杆的杆壁均开设有四个滚珠槽。
优选的,所述离化槽上侧的侧壁设置有盖板,所述盖板上侧的侧壁对称固定连接有两个T型把手。
优选的,所述底座下侧的侧壁开设有固定孔,所述底座的下方设置有接料箱。
优选的,所述滑动杆靠近左端的杆壁螺纹套设有限位螺母。
优选的,所述离化槽左侧的外壁固定连接有导向杆,所述固定板右侧的侧壁开设有导向孔,所述导向杆通过导向孔贯穿固定板。
优选的,所述盖板上侧的侧壁开设有观察孔,所述观察孔内嵌设有玻璃板。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种工件表面杂质离化装置,具备以下有益效果:
该工件表面杂质离化装置,通过设置的底座、支撑板、固定板、滑动孔、滑动杆、竖板、安装孔、移动杆、离化槽、排放阀、压缩弹簧、安装座、驱动电机、转轴、偏心轮、安装块、安装槽和滚珠,使用时,控制驱动电机运行,驱动电机的输出轴带动转轴转动,转轴带动偏心轮转动,偏心轮能够使移动杆向左滑动,当移动杆向左移动时,移动杆带动离化槽向左移动,离化槽带动滑动杆向左移动,离化槽挤压压缩弹簧,使压缩弹簧弹性变形,偏心轮继续转动,压缩弹簧自动回弹,压缩弹簧推动离化槽向右移动,从而能够使离化槽在水平方向上往复运行,离化槽能够带动电离液晃动,从而提高电离液与工件的接触效果,能够使电离液与工件接触量增加,有效的提高了离化装置的除杂效率。
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本实用新型能够使电离液与工件接触量增加,有效的提高了离化装置的除杂效率。
附图说明
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