[实用新型]一种新型加热器监测装置

说明书

本实用新型提供一种新型加热器监测装置，包括：腔体、工艺管、加热器、保温组件、电极连接组件一、电极连接组件二、腔体上盖、电极连接法兰一、电极连接法兰二，所述加热器内部安装有工艺管，所述加热器外部装有保温组件，所述加热器顶部连接有电极连接组件一，所述电极连接组件一顶部连接有电极连接组件二,与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过增加监测仪表，能实时监测到加热器的异常状况，出现异常能及时提醒操作人员，一旦加热器出现短路现象能够立刻自动停止加热，大大提高了设备的安装性能，降低了设备的人工维护成本，使产品的性能指标得到了大大的提升。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体材料的高温氧化、退火、活化等工艺热处理设备，尤其是一种具有新型加热器监测装置的高温氧化退火炉。

背景技术

高温氧化退火炉用于半导体器件、材料等不同工艺尺寸的高温氧化、退火、活化等工艺。

目前传统高温氧化退火炉设备，其加热系统常采用石墨加热器，加热器电源采用三相供电。加热器加热时，一旦出现因短路或者绝缘不好造成三相电不平衡时，无法第一时间监测到，对产品氧化或退火工艺带来了诸多不便，大大增加了工艺研发的难度以及产品性能的提升。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型加热器监测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种新型加热器监测装置，包括：腔体、工艺管、加热器、保温组件、电极连接组件一、电极连接组件二、腔体上盖、电极连接法兰一、电极连接法兰二、功率控制器、监测仪表、计算机、控温系统，所述加热器安装在腔体的中部，所述加热器内部安装有工艺管，所述加热器外部装有保温组件，所述加热器顶部连接有电极连接组件一，所述电极连接组件一顶部连接有电极连接组件二，所述腔体顶部安装有腔体上盖，所述腔体上盖上面安装有三个电极连接法兰一，所述电极连接组件二穿过电极连接法兰一，通过电极连接法兰二将电极连接组件二固定住，加热器通过电极连接组件一以及电极连接组件二连接功率控制器，电极连接组件二和功率控制器之间连接三相加热电源线U、V、W，同时三相加热电源线U、V、W通过电线连接到监测仪表。

作为一优选的实施方式，所述加热器的中心与腔体的中心在同一条中轴线上。

作为一优选的实施方式，所述腔体的外侧面设置有计算机以及警报器，所述计算机通过电线连接警报器，所述计算机还通过控温系统连接加热器。

采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：通过增加监测仪表，能实时监测到加热器的异常状况，出现异常能及时提醒操作人员，一旦加热器出现短路现象能够立刻自动停止加热，大大提高了设备的安装性能，降低了设备的人工维护成本，使产品的性能指标得到了大大的提升。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本实用新型的加热器安装示意图；

图2所示为本实用新型的加热器接线示意图；

图3所示为本实用新型的加热器监测系统示意图。

图中，腔体1、工艺管2、加热器3、保温组件4、电极连接组件一5、电极连接组件二6、腔体上盖7、电极连接法兰一8、电极连接法兰二9、功率控制器10、监测仪表11、计算机12、控温系统13。

具体实施方式