[实用新型]一种蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置

权利要求书

1.一种蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，包括：蓝光半导体激光器单管模块，沿蓝光的光路方向上依次设有转换透镜、平行双光栅结构、外腔反馈镜、半波片、反射镜组、偏振分光棱镜和单光栅结构，所述平行双光栅结构的数量为两个，所述单光栅结构的数量为一个。

2.如权利要求1所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，所述的蓝光半导体激光器单管模块由蓝光半导体激光器单管、快轴准直镜、慢轴准直镜组成。

3.如权利要求2所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，所述蓝光半导体激光器单管模块为多个，所述多个蓝光半导体激光器单管模块输出的激光在经过调光后，互相平行输出，经过所述转换透镜后，以不同角度入射到所述平行双光栅结构。

4.如权利要求3所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，入射到所述平行双光栅结构的光束偏振方向与所述平行双光栅结构要求的偏振方向相同。

5.如权利要求4所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，所述平行双光栅结构由两块互相平行的光栅组成，均以littrow结构放置。

6.如权利要求5所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，所述蓝光半导体激光器单管模块位于转换透镜焦平面处，所述平行双光栅结构中第一块光栅的中心距离转换透镜稍小于转换透镜后焦距。

7.如权利要求6所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，外腔反馈镜为表面镀有一定反射率薄膜的透镜，反射率为5％—10％，与平行双光栅结构的衍射光方向垂直，它为整个系统提供了反馈光，并锁定波长。

8.如权利要求7所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，半波片和偏振分光棱镜的适用光谱范围大于外腔反窥镜输出蓝色激光光束的谱宽，且抗损伤阈值高。

9.如权利要求8所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，两束偏振合束后的光以不同角度入射到单光栅结构，单光栅以littrow结构放置。

10.如权利要求9所述的蓝光多单管平行双光栅外腔反馈合束装置，其特征在于，半导体激光单管的前腔面以及快慢轴准直透镜、转换透镜和衍射光栅等腔内各个元件的表面镀增透膜，以降低由元件表面反射或散射引起的功率损耗和模式竞争，提高光谱合束的合束效率。