[实用新型]一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置有效
| 申请号： | 202022899285.0 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN214655367U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 杨永江 | 申请（专利权）人： | 华芯威半导体科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100744 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 可靠 腐蚀 结构 碳化硅 晶体生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置，包括石墨坩埚，石墨坩埚上设置有坩埚盖，坩埚盖的内侧固定设置有籽晶，石墨坩埚内装有原料，石墨坩埚的内侧壁以及内底壁分别贴有侧部石墨纸与底部石墨纸，其特征在于：所述石墨坩埚的内底壁外沿设置有环形容纳槽，环形容纳槽内可拆卸的设置有压环，压环的上表面与石墨坩埚的内底壁相平，底部石墨纸的外边缘与压环的外边缘相平齐，侧部石墨纸的底端与压环的底端相平并被卡紧在压环的外侧。
2.根据权利要求1所述的一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述底部石墨纸的外端设置有向下延伸的筒状包覆环，筒状包覆环位于所述压环与侧部石墨纸之间。
3.根据权利要求1或2所述的一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述底部石墨纸的外端通过耐高温胶与压环进行连接。
4.根据权利要求1所述的一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述侧部石墨纸的底端设置有向内侧进行水平延伸的包覆环，包覆环位于所述压环的底部。
5.根据权利要求1所述的一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述压环为石墨压环。
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