[实用新型]一种太阳能硅片表面蚀刻装置

权利要求书

1.一种太阳能硅片表面蚀刻装置，包括蚀刻外壳体（1）、液管（8）、输液软管（12），其特征在于：所述蚀刻外壳体（1）的下端四角处均固定连接设置有支撑脚（3），所述蚀刻外壳体（1）的内部下端倾斜固定连接设置有蚀刻倾斜底板（2），所述蚀刻外壳体（1）的下端固定安装设置有废液出管（11），所述蚀刻外壳体（1）的上端设置有蚀刻液罐（6），所述蚀刻外壳体（1）的上端固定连接设置有液泵（7），所述液泵（7）的输入端通过液管（8）与蚀刻液罐（6）相连接，所述蚀刻外壳体（1）的内部上端固定连接设置有若干个吊杆（13），所述吊杆（13）的下端固定连接设置有直线电机（14），所述直线电机（14）的移动端上固定连接设置有蚀刻喷射嘴（16），所述液泵（7）的输出端通过输液软管（12）与蚀刻喷射嘴（16）相连接，所述蚀刻外壳体（1）的前后侧均固定连接设置有侧安装板（9），所述侧安装板（9）上转动连接设置有若干个旋转杆（10），所述旋转杆（10）上固定套设有移动辊（18），所述蚀刻外壳体（1）的外侧固定安装设置有伺服电机（17），所述伺服电机（17）的输出端与移动辊（18）固定连接，所述蚀刻外壳体（1）的内部上端固定连接设置有若干个弹簧伸缩杆（19），所述弹簧伸缩杆（19）的下端固定连接设置有夹臂（21），前后侧的所述夹臂（21）之间转动连接设置有转轴（15），所述转轴（15）上固定套设有压紧辊（20），所述蚀刻外壳体（1）的上端左侧固定连接设置有入料框口（4）。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片表面蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻外壳体（1）的上端右侧固定连接设置有出料接板（5），且所述出料接板（5）设置的高度与移动辊（18）的高度保持一致。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片表面蚀刻装置，其特征在于：所述移动辊（18）的外表面设置有防滑耐磨涂层。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片表面蚀刻装置，其特征在于：所述移动辊（18）与压紧辊（20）间隔设置。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片表面蚀刻装置，其特征在于：所述废液出管（11）上设置有控制阀。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片表面蚀刻装置，其特征在于：所述吊杆（13）设置的间隔均匀。