[实用新型]一种硅片花篮芯杆的表面螺纹结构有效
申请号: | 202022907625.X | 申请日: | 2020-12-06 |
公开(公告)号: | CN213340314U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 孟岭 | 申请(专利权)人: | 无锡市世通模塑有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 谷金颖 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 花篮 表面 螺纹 结构 | ||
本实用新型公开了一种硅片花篮芯杆的表面螺纹结构,包括硅片花篮芯杆,所述硅片花篮芯杆的两端均安装有卡环槽,且该硅片花篮芯杆的外表面上开设有间距相等的螺纹槽,所述硅片花篮芯杆安装于两个花篮端板的注胶孔内部;本实用新型所述的硅片花篮芯杆的表面螺纹结构,该硅片花篮芯杆杆内外表面有螺纹结构,外部塑料收缩被限制,收缩比小,解决传统杆内支撑芯杆外表面无结构,外部塑料收缩比大的问题。
技术领域
本实用新型涉及花篮领域,具体为一种硅片花篮芯杆的表面螺纹结构。
背景技术
花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产制具,花篮主要用于晶片的存放、蚀刻、搬运等,花篮主要包含方形花篮和圆形花篮;
硅片花篮芯杆是安装于花篮的支撑组件,而传统杆内支撑芯杆外表面无结构,导致外部塑料收缩比大,为此,提出一种硅片花篮芯杆的表面螺纹结构。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片花篮芯杆的表面螺纹结构,本实用新型提供如下技术方案:包括硅片花篮芯杆,所述硅片花篮芯杆的两端均安装有卡环槽,且该硅片花篮芯杆的外表面上开设有间距相等的螺纹槽,所述硅片花篮芯杆安装于两个花篮端板的注胶孔内部。
优选的,所述注胶孔开设于花篮端板的内侧表面上。
优选的,所述硅片花篮芯杆的横截面为圆形。
优选的,所述注胶孔分别开设于卡环槽上,且该注胶孔共开设有六个。
优选的,所述花篮端板为一个不规则的正方体结构。
优选的,所述卡环槽的横截面为圆形,且该卡环槽的直径与硅片花篮芯杆的直径相适配。
与现有技术对比,本实用新型具备以下有益效果:该一种硅片花篮芯杆的表面螺纹结构,该硅片花篮芯杆杆内外表面有螺纹结构,外部塑料收缩被限制,收缩比小,解决传统杆内支撑芯杆外表面无结构,外部塑料收缩比大的问题。
附图说明
图1为本实用新型硅片花篮芯杆的表面螺纹结构的整体结构示意图;
图2为传统硅片花篮芯杆的结构示意图;
图3为本实用新型硅片花篮芯杆的安装结构示意图;
图中:1、硅片花篮芯杆;2、螺纹槽;3、卡环槽;4、花篮端板;5、注胶孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3,一种硅片花篮芯杆的表面螺纹结构,包括硅片花篮芯杆1,所述硅片花篮芯杆1的两端均安装有卡环槽3,且该硅片花篮芯杆1的外表面上开设有间距相等的螺纹槽2,所述硅片花篮芯杆1安装于两个花篮端板4的注胶孔5内部。
注胶孔5开设于花篮端板4的内侧表面上。
硅片花篮芯杆1的横截面为圆形。
注胶孔5分别开设于卡环槽3上,且该注胶孔5共开设有六个。
花篮端板4为一个不规则的正方体结构。
卡环槽3的横截面为圆形,且该卡环槽3的直径与硅片花篮芯杆1的直径相适配。
需要说明的是,在安装时,将硅片花篮芯杆1安装于花篮端板4的注胶孔5内,将卡环槽3卡接于花篮端板内侧,完成安装;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造