[实用新型]一种50片镂空可视化硅片花篮有效
申请号: | 202022907643.8 | 申请日: | 2020-12-06 |
公开(公告)号: | CN213340315U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 孟岭 | 申请(专利权)人: | 无锡市世通模塑有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 谷金颖 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 50 镂空 可视化 硅片 花篮 | ||
本实用新型公开了一种50片镂空可视化硅片花篮,包括硅片花篮主体,所述硅片花篮主体由端板与硅片花篮芯杆组成,所述端板的内壁开设有若干个与硅片花篮芯杆端部相适配的孔洞,该硅片花篮芯杆端部插接于端板的内壁孔洞内,所述硅片花篮芯杆上铺设有用于放置硅片的槽板,且该槽板的根部具有可视空格;本实用新型所述的50片镂空可视化硅片花篮,槽板根部有可视化空格,可以提供观察视角,把50片花篮底部两侧设计为镂空,这样方便工人观察硅片边角是否完好,方便检验人员查看硅片边角是否有碎片崩边等不良。
技术领域
本实用新型涉及花篮领域,具体为一种50片镂空可视化硅片花篮。
背景技术
花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产制具,花篮主要用于晶片的存放、蚀刻、搬运等,花篮主要包含方形花篮和圆形花篮,花篮用在光伏行业,用于承载太阳能硅片;
而传统硅片花篮不太方便工人观察硅片边角是否完好,无法便捷地使检验人员查看硅片边角是否有碎片崩边等不良,为此,提出一种50片镂空可视化硅片花篮。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种50片镂空可视化硅片花篮,本实用新型提供如下技术方案:包括硅片花篮主体,所述硅片花篮主体由端板与硅片花篮芯杆组成,所述端板的内壁开设有若干个与硅片花篮芯杆端部相适配的孔洞,该硅片花篮芯杆端部插接于端板的内壁孔洞内,所述硅片花篮芯杆上铺设有用于放置硅片的槽板,且该槽板的根部具有可视空格。
优选的,所述硅片花篮芯杆共安装有两个。
优选的,所述槽板上共可放置片硅片,且每个槽板的规格大小一致。
优选的,所述端板共安装有两个,且两个端板分别设置于硅片花篮芯杆的两端。
优选的,所述硅片花篮主体的底部两侧设计为镂空。
优选的,所述硅片花篮芯杆的横截面为圆形,且其为圆柱体结构。
与现有技术对比,本实用新型具备以下有益效果:该一种50片镂空可视化硅片花篮,槽板根部有可视化空格,可以提供观察视角,把50片花篮底部两侧设计为镂空,这样方便工人观察硅片边角是否完好,方便检验人员查看硅片边角是否有碎片崩边等不良。
附图说明
图1为本实用新型50片镂空可视化硅片花篮的整体结构示意图;
图2为本实用新型图1中A处的放大图;
图中:1、端板;2、硅片花篮芯杆;3、硅片;4、可视空格;5、硅片花篮主体。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2,一种50片镂空可视化硅片花篮,包括硅片花篮主体5,所述硅片花篮主体5由端板1与硅片花篮芯杆2组成,所述端板1的内壁开设有若干个与硅片花篮芯杆2端部相适配的孔洞,该硅片花篮芯杆2端部插接于端板1的内壁孔洞内,所述硅片花篮芯杆2上铺设有用于放置硅片3的槽板,且该槽板的根部具有可视空格4。
硅片花篮芯杆2共安装有两个。
槽板上共可放置50片硅片3,且每个槽板的规格大小一致。
端板1共安装有两个,且两个端板1分别设置于硅片花篮芯杆2的两端。
硅片花篮主体5的底部两侧设计为镂空。
硅片花篮芯杆2的横截面为圆形,且其为圆柱体结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造