[实用新型]一种用于制造毛细金属管的电沉积装置

说明书

本实用新型公开了一种用于制造毛细金属管的电沉积装置。该装置包括电机、一对相互啮合的齿轮、空心传动轴、芯模夹具、芯模胀紧装置、电解液、电沉积电源、阳极、球头导电柱、电解液槽、导电芯模等。电沉积制作毛细金属管时，细丝状的导电芯模夹持在芯模夹具和芯模胀紧装置之间，并部分浸没在电解液液面之下，电机驱动齿轮使芯模夹具与导电芯模随空心传动轴一起转动；同时，电沉积电源分别与球头导电柱和阳极通电后，芯模外表面电沉积形成毛细金属管。该装置结构简单，操作方便，导电芯模装夹牢靠，可获得壁厚均匀的高品质毛细金属管。

技术领域

本实用新型涉及电铸技术领域，尤其是涉及一种用于制造毛细金属管的电沉积装置。

背景技术

毛细金属管通常是指内径为数微米至数百微米的金属管，在半导体、通讯、汽车、医疗、流体等领域均有广泛应用。例如，半导体测试探针的导套等。制备毛细金属管的方法主要有拉拔加工，液压成型加工，大塑性变形加工，电铸加工等。通常拉拔加工是金属管材加工的主流方式，但拉拔生产毛细金属管（1mm以下）往往受制于芯模挤压和工艺条件，存在内径越小、管壁越薄的关系，且管内壁欠光整，管壁尺寸不稳定，易产生裂纹、褶皱等质量问题。电铸加工是一种金属制品特种成形工艺，主要采用金属沉积技术在阴极化芯模表面沉积一定厚度的金属层，将金属沉积层与芯模分离后，获得具有特定功能的金属构件。通过采用微细的电铸芯模结构，能实现形状特殊、尺寸精度及表面粗糙度极高的金属制品，十分适合制备内径微细和壁厚规格不同的金属毛细管。但是电铸加工毛细金属管时，细丝状的芯模的夹持及其运动往往是生产工艺难题之一，直接影响毛细金属管的成形质量和生产的可靠性。

专利号为JP3889689的日本发明专利公布了一种电铸毛细金属管的装置。该装置采用细线材料作为芯模，表面镀上金属导电层，将芯模左右两侧固定，右侧采用弹簧胀紧芯模，将芯模置于电解液槽中电解液液面之下，可在芯模上电镀金属层。但该装置并未解决芯模如何装夹固定这一大难题，芯模装夹方式不当，很难保证毛细金属管成型质量。本实用新型提出了一种装夹导电芯模可靠、结构简单、效率高的制造毛细金属管的电沉积装置，以能高效灵活地制备成型件质量好，管壁厚度均匀的毛细金属管。

发明内容

本实用新型的目的是提出了一种用于制造毛细金属管的电沉积装置，设计了一种能够牢靠固定导电芯模的夹具，通过芯模夹具将导电芯模固定在空心传动轴的中空孔中，齿轮传动带动导电芯模旋转，从而在电沉积时获得壁厚均匀的毛细金属管。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于制造毛细金属管的电沉积装置，包括一对相互啮合的齿轮、空心传动轴、芯模夹具、芯模胀紧装置、电沉积电源、阳极、导电芯模、电解液槽、电解液、球头导电柱，其特征在于：所述的导电芯模一端夹持在芯模夹具的锥形配合面之间，另一端与芯模胀紧装置连接，芯模中间部分浸没在电解液槽中电解液液面之下；所述的芯模夹具置于连接齿轮的空心传动轴中，并随空心传动轴一起转动；所述的球头导电柱弹性压贴在芯模夹具外侧且接触良好；所述的芯模胀紧装置沿轴线方向拉紧导电芯模，使导电芯模保持水平状态。

所述的导电芯模为直径0.05-0.5mm的金属丝，材质为钛、铝、铜、或铁。

所述的芯模夹具材质为不锈钢，锥形配合面为具有相同锥角的圆锥面。

所述的阳极为长条状，与导电芯模平行且置于电解液槽底部，材质为钛等惰性金属。

所述的阳极与电沉积电源的正极相连接，球头导电柱与电沉积电源的负极相连接。

所述的齿轮，空心传动轴均为非导电材料，如尼龙、聚丙烯等。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果。

毛细金属管品质高。通过电机带动齿轮传动，带动空心传动轴旋转，从而带动芯模夹具旋转实现导电芯模的旋转，可在芯模表面电沉积出厚度均匀的毛细金属管；在电解液槽中，导电芯模浸没在电解液中被胀紧并平行于阳极，而使电场分布均匀；循环系统可加快电解液流动，传质好，沉积表面缺陷少，质量高；通电量精密控制沉积层厚度。