[实用新型]一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构

权利要求书

1.一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构，包括石英制反应管、不锈钢上法兰、不锈钢下法兰、石英制内容器、石英制导气管和石英制导入管，其特征在于：所述石英制内容器、石英制导气管和石英制导入管均位于石英反应管的内腔，石英制导气管和石英制导入管与石英制内容器之间连接有石英制加强筋，石英制反应管的环形端口底部设置有分隔法兰，分隔法兰和石英制反应管之间夹设有密封垫片，不锈钢下法兰设置在石英制反应管的端口处，不锈钢上法兰和不锈钢下法兰之间通过锁紧螺栓相互连接，所述不锈钢下法兰和分隔法兰之间通过锁紧螺栓相连接，不锈钢下法兰与石英制反应管之间夹设有内周O型圈和外周O型圈，不锈钢下法兰与石英制反应管相贴合的表面开设有环形抽气槽，不锈钢下法兰的环形侧面开设有与环形抽气槽相连通抽气通道，抽气通道的端口处安装有真空管，真空管上安装有真空计。

2.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构，其特征在于：所述环形抽气槽开设在内周O型圈和外周O型圈之间，环形抽气槽、内周O型圈和外周O型圈的中心位于同一垂直轴心线上。

3.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构，其特征在于：所述不锈钢下法兰的下表面与石英制反应管的端面紧密贴合接触。

4.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构，其特征在于：所述不锈钢上法兰上开设有与石英制内容器、石英制导气管和石英制导入管相适配的连通孔，石英制内容器、石英制导气管和石英制导入管通连通孔分别连通有第一衔接头、第二衔接头和第三衔接头。

5.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构，其特征在于：所述分隔法兰、不锈钢上法兰、不锈钢下法兰和密封垫片的中心均位于同一垂直轴心线上。