[实用新型]一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床

权利要求书

1.一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，包括机床床身、机床工作台、数控控制面板、立柱、砂轮升降系统、砂轮驱动系统、X光机、X光机立柱、砂轮升降手动系统、砂轮液压系统和砂轮手动系统，其特征在于：所述机床工作台安装机床床身的顶部，数控控制面板通过安装柱安装在机床床身的正面，立柱安装在机床工作台的顶部左侧，砂轮升降系统安装在立柱上，砂轮驱动系统安装在砂轮升降系统的升降块上，X光机立柱安装在机床工作台的顶部右侧，X光机安装在X光机立柱上，砂轮液压系统和砂轮升降手动系统均安装在机床床身内，所述砂轮手动系统安装在砂轮升降系统上，所述X光机立柱安装有定位机构，定位机构上安装有定向仪；

所述定位机构包括定位框，定位框的内侧设置有双向丝杆，定位框的内侧中间位置安装有中间轴承，双向丝杆贯穿中间轴承的轴承内圈并延伸至定位框的外侧，双向丝杆的两端固定安装有旋转把手，双手丝杆在位于定位框内侧部分的螺纹连接有两个滚珠螺母，定位框上开设有两个贯穿活动槽，两个滚珠螺母上均固定连接有与贯穿活动槽相适配的夹持延伸杆，夹持延伸杆的末端通过相对应的贯穿活动槽延伸至定位框的外侧，定向仪的用过螺丝安装有与夹持延伸杆末端相适配的定位槽，两个夹持延伸杆的末端插接在相对应的定位槽内侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，其特征在于：所述数控控制面板与砂轮升降系统、砂轮驱动系统和砂轮液压系统之间均为电性控制连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，其特征在于：所述夹持延伸杆与相对应贯穿活动槽内侧壁之间的配合关系为过渡配合，夹持延伸杆与相对应定位槽内侧壁之间的配合关系为过渡配合，两个夹持延伸杆关于中间轴承对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，其特征在于：所述双向丝杆上的两段外螺纹关于中间轴承对称设置，两段外螺纹的螺纹方向相反螺纹齿距相等，双向丝杆上的两个滚珠螺母关于中间轴承对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，其特征在于：所述定向仪的测量衍射角朝向机床工作台所定位的晶圆，所述定位机构与定向仪相适配安装。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，其特征在于：所述X光机的X射线朝向机床工作台所定位的晶圆，X光机与定向仪安装位置相互错开。