[实用新型]苏玛罐自动进样系统

说明书

本申请涉及苏玛罐自动进样系统，包括苏玛罐，用于存储采集分析样品；清罐仪，清罐仪用于清洗苏玛罐，并且将清洁好的苏玛罐抽至负压状态，清罐仪包括一侧壁；第一管路部分，第一管路部分包括多个第一管路，且多个第一管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，用于将清罐仪内的物质引出；第一阀门部分，第一阀门部分包括多个第一阀门，且多个第一阀门与多个第一管路的第二端一一对应连接；第二管路部分，第二管路部分包括多个第二管路，且多个第二管路的第一端与多个第一阀门一一对应连接，多个第二管路的第二端用于连接苏玛罐，其中多个第二管路的材质为PFA，可减少清罐仪气体管路的损耗且避免了某一个分支漏气导致整层漏气，机台无法使用的情况出现。

技术领域

本申请涉及半导体集成电路制造设置，尤其涉及一种苏玛罐自动进样系统。

背景技术

在半导体集成电路制造中，苏玛罐自动进样系统是常用设备，其是洁净室氛围气中总挥发性有机物的采集分析样品的关键机台，清罐仪是其附属机台，主要用于清洗苏玛罐，并且将清洁好的苏玛罐抽至负压状态。清罐仪通常通过管路连接苏玛罐，因此连接清罐仪与苏玛罐的管路是否可靠工作(如不漏气)对于玛罐自动进样系统能否正常工作至关重要。

实用新型内容

本申请在于提供一种苏玛罐自动进样系统，包括：苏玛罐，用于存储采集分析样品；清罐仪，清罐仪用于清洗苏玛罐，并且将清洁好的苏玛罐抽至负压状态，清罐仪包括一侧壁；第一管路部分，第一管路部分包括多个第一管路，且多个第一管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，用于将清罐仪内的物质引出；第一阀门部分，第一阀门部分包括多个第一阀门，且多个第一阀门与多个第一管路的第二端一一对应连接；第二管路部分，第二管路部分包括多个第二管路，且多个第二管路的第一端与多个第一阀门一一对应连接，多个第二管路的第二端用于连接苏玛罐，其中多个第二管路的材质为PFA。

更进一步的，PFA为塑料。

更进一步的，PFA为全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物。

更进一步的，多个第一管路为不锈钢管路。

更进一步的，第一管路部分包括4个第一管路，第一阀门部分包括4个第一阀门，第二管路部分包括4个第二管路，4个第一管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，4个第一阀门与4个第一管路的第二端一一对应连接，4个第二管路的第一端与4个第一阀门一一对应连接。

更进一步的，多个第一阀门为常开状态，当第一阀门连接的第一管路和第二管路构成的子输送通道出现遗漏现象时，对应的第一阀门关闭。

更进一步的，还包括第二输送通道，第二输送通道包括：第三管路部分，第三管路部分包括多个第三管路，且多个第三管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，用于将清罐仪内的物质引出；第二阀门部分，第二阀门部分包括多个第二阀门，且多个第二阀门与多个第三管路的第二端一一对应连接；第四管路部分，第四管路部分包括多个第四管路，且多个第四管路的第一端与多个第二阀门一一对应连接，多个第四管路的第二端用于连接苏玛罐，其中多个第四管路的材质为PFA。

更进一步的，多个第三管路为不锈钢管路。

更进一步的，第二管路部分包括4个第三管路，第二阀门部分包括4个第二阀门，第四管路部分包括4个第四管路，4个第三管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，4个第二阀门与4个第三管路的第二端一一对应连接，4个第四管路的第一端与4个第二阀门一一对应连接。

更进一步的，多个第二阀门为常开状态，当与第二阀门连接的第三管路和第四管路构成的子输送通道出现遗漏现象时，对应的第二阀门关闭。

附图说明

图1为本申请一实施例的苏玛罐自动进样系统结构示意图。

具体实施方式