[实用新型]一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置

说明书

一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，一腐蚀性气输送管路的出气端与一真空泵的进口连接，一氮气输送管路的出气端与该真空泵的进口连接，一腐蚀性气‑氮气的混合气输送管路的进气端与该真空泵的出口连接。该对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，由于有氮气进入真空泵内，将进入真空泵内的腐蚀性气稀释，氮气属于惰性气体，不具有腐蚀性，从而减小了真空泵的内部零件所受腐蚀，使用寿命得到延长。

技术领域

本实用新型涉及真空泵的使用，具体地说，涉及一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置。

背景技术

在电子产品生产制造过程中，经常用到具有特殊要求的气体，这种气体称为电子特种气体，具有极强的腐蚀性。为了保证提供给电子产品生产制造企业的电子特种气体的纯度，在盛装过电子特种气体的钢瓶再次充装电子特种气体之前，必须对钢瓶内壁进行清洁处理，其中的一个步骤就是抽吸出钢瓶内的残留电子特种气体，这导致抽吸残留电子特种气体所用真空泵的内部零件被电子特种气体腐蚀，使用寿命降低。

实用新型内容

本实用新型要解决真空泵的内部零件被电子特种气体腐蚀的技术问题，提供一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置。

本实用新型的对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，其特征在于，具有：

一真空泵；

一腐蚀性气输送管路；

一氮气输送管路；

一腐蚀性气-氮气的混合气输送管路；

该腐蚀性气输送管路的出气端与该真空泵的进口连接，该腐蚀性气输送管路上安装一第一气动开关阀；

该氮气输送管路的出气端与该真空泵的进口连接，该氮气输送管路上从进气端到出气端顺次安装一第一单向阀、一自力式压力调节阀和一第二气动开关阀；

该腐蚀性气-氮气的混合气输送管路的进气端与该真空泵的出口连接，该腐蚀性气-氮气的混合气输送管路上从进气端到出气端顺次安装一第二单向阀和一第一手动隔膜阀。

本实用新型的对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，由于有氮气进入真空泵内，将进入真空泵内的腐蚀性气稀释，氮气属于惰性气体，不具有腐蚀性，从而减小了真空泵的内部零件所受腐蚀，使用寿命得到延长。

本实用新型的对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，该氮气输送管路上安装一第二手动隔膜阀和一转子流量计，该第二手动隔膜阀位于该第一单向阀的上游，该转子流量计位于该第二气动开关阀的下游。

附图说明

图1是本实用新型的对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置的具体实施方式作进一步的说明，本实用新型的对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置的特征和优点将变得更加明显。

本实用新型的对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置如图1所示，具有一残留电子特种气输送总管路1、一低压氮气输送管路2、一电子特种气-氮气的混合气输送管路3、一真空泵4和一转子流量计5。

残留电子特种气输送总管路1的进气端与多个残留电子特种气输送支管(未示出)的出气端连接，多个残留电子特种气输送支管的进气端分别与多个电子特种气体钢瓶(未示出)的出口连接，残留电子特种气输送总管路1的出气端与真空泵4的进口连接。残留电子特种气输送总管路1上安装一气动开关阀11。

低压氮气输送管路2的进气端与一公用工程低压氮气体管网(未示出)连接，出气端与真空泵4的进口连接。低压氮气输送管路2上从进气端到出气端顺次安装一手动隔膜阀21、一单向阀22、一自力式压力调节阀23、一气动开关阀24和转子流量计5。