[实用新型]扩散炉管进出气循环装置及包括其的扩散炉

权利要求书

1.一种扩散炉管进出气循环装置，包括设置在扩散炉管尾部上的进气管和排气管，其特征在于：所述进气管自所述扩散炉管尾部延伸至扩散炉管头部，所述排气管位于扩散炉管内的一端靠近所述扩散炉管尾部。

2.如权利要求1所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：所述排气管在所述扩散炉管尾部上的位置高于所述进气管在所述扩散炉管尾部上的位置。

3.如权利要求2所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：所述排气管设置在所述扩散炉管尾部的中心位置。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：还包括接液瓶，所述排气管的另一端与接液瓶连通。

5.如权利要求4所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：所述接液瓶下方设置有支撑架，所述支撑架包括托盘和与所述托盘螺纹连接的支腿，所述支腿沿所述托盘的外周设置有至少两个。

6.如权利要求5所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：所述支腿的底部设置有防滑底座。

7.如权利要求6所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：所述防滑底座为橡胶底座。

8.如权利要求1至3中任意一项所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：所述进气管为石英管，所述进气管靠近扩散炉管头部的管体上沿其圆周方向开设有多个精孔。

9.如权利要求8所述的扩散炉管进出气循环装置，其特征在于：所述精孔设置有4个，所述精孔的直径为4mm。

10.一种扩散炉，包括扩散炉管，特征在于：所述扩散炉管连接有如权利要求1至9中任意一项所述的扩散炉管进出气循环装置，所述扩散炉管进出气循环装置中的进气管和排气管设置在扩散炉管尾部上。