[实用新型]一种用于区熔法制备单晶硅的加热线圈

权利要求书

1.一种用于区熔法制备单晶硅的加热线圈，其特征在于：包括线圈主体（1）和线圈冷却水管（9），所述线圈冷却水管（9）嵌入所述线圈主体（1）内，线圈主体（1）为平板单匝结构，线圈主体（1）的上表面（1-4）设有向线圈内部凹陷的台阶Ⅰ（5-1），在所述台阶Ⅰ（5-1）底部与线圈主体内圆（1-1）上边缘（1-2）之间设置上斜面（6）；在线圈主体（1）下表面（1-5）设置向线圈内部凹陷的台阶Ⅱ（5-2）；在所述台阶Ⅱ（5-2）底部与线圈主体内圆（1-1）下边缘（1-3）之间设置下斜面（8）；在所述线圈主体内圆（1-1）下边缘1-3）处，设置一圈圆弧凸起（7）；在线圈主体内圆（1-1）处开有四个贯通上下表面（1-5）的十字狭缝，分别为狭缝Ⅰ（2-1）、狭缝Ⅱ（2-2）、狭缝Ⅲ（2-3）和狭缝Ⅳ（2-4），在线圈主体（1）外圆沿狭缝Ⅰ（2-1）方向的一侧设置连接电极的法兰（3），在所述法兰（3）与狭缝Ⅰ（2-1）间设置一条主缝（4），所述主缝（4）宽度逐渐减小延伸至法兰（3）处。