[实用新型]上蜡机取片装置有效
申请号: | 202022923867.8 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN213988857U | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 郑东;肖迪 | 申请(专利权)人: | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 江鹏飞 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 上蜡 机取片 装置 | ||
本实用新型公开了一种上蜡机取片装置,属于晶片加工技术领域。其技术方案为:包括控制器、平台、取片机构、升降机构和推送机构;取片机构包括底座Ⅰ、立柱、置物板、丝杆固定座,丝杆的顶部与滑块的底部相连接,滑块远离驱动电机的一端固定连接托板;升降机构包括支撑架、升降组件,升降组件设置于支撑架的框架空隙中,升降组件顶端连接储片仓,储片仓上设有插片槽;推送机构包括底座Ⅱ、水平驱动气缸、滑杆和推块,水平推杆一端固设有夹持槽,水平驱动气缸与控制器电连接;所述托板、最底端的插片槽和夹持槽三者的高度在同一水平线上。本实用新型能够减少晶片取放过程中对取片机构托板的碰撞,减少托板的更换频次,延长取片机构的使用寿命。
技术领域
本实用新型涉及晶片加工技术领域,具体涉及一种上蜡机取片装置。
背景技术
在蓝宝石晶片上游加工领域中,上蜡机的取片方式为取片机构伸到花篮里面取,这样动作简单,但是取片机构容易发生碰撞,导致点位对不上,需重新调整,浪费工作时间,如果取片机构碰撞严重,需更换新的,给现实生产带来诸多不便。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供一种上蜡机取片装置,以解决在取片过程中手臂碰撞导致点位对不上,影响使用寿命的问题。
本实用新型的技术方案为:一种上蜡机取片装置,包括控制器、平台、取片机构、升降机构和推送机构;所述取片机构包括固定安装于平台上的底座Ⅰ,底座Ⅰ内旋转连接有立柱,立柱由步进电机驱动,步进电机与控制器电连接,立柱的顶部固定安装有置物板,置物板的顶部两端安装有丝杆固定座,丝杆固定座的一端安装有驱动电机,驱动电机的输出轴与丝杆连接,丝杆上滑动连接有滑块,滑块远离驱动电机的一端固定连接托板;所述升降机构包括固定安装于平台上的支撑架和升降组件,升降组件设置于支撑架的框架空隙中,升降组件与控制器电连接,升降组件顶端连接储片仓,储片仓间隔一定距离固设有插片槽;所述推送机构包括固定安装于平台上的底座Ⅱ,底座Ⅱ的顶部远离升降机构的一端设置水平驱动气缸、滑杆和推块,水平驱动气缸的输出轴与滑杆连接,推块滑动连接于滑杆上,推块的上端固定连接水平推杆的一端,水平推杆的另一端固设有夹持槽,水平驱动气缸与控制器电连接;所述托板、最底端的插片槽和夹持槽三者的高度在同一水平线上。
优选地,升降组件为升降气缸,升降气缸与控制器电连接。
优选地,升降组件为电动伸缩杆,电动伸缩杆与控制器电连接。
优选地,所述托板为U型凹槽。
优选地,所述储片仓为若干个可拆卸连接的储片单元。
优选地,相邻两个储片单元间螺纹连接。
本实用新型与现有技术相比,具有以下有益效果:
1. 本实用新型能够减少晶片取放过程中对取片机构托板的碰撞,减少托板的更换频次,延长取片机构的使用寿命;2.可拼接式储片单元可以大大提升单次晶片的储运量,有效避免多次人为堆放晶片浪费人力物力,显著提高了取片效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的托板结构示意图。
图中,1-底座Ⅰ;2-立柱;3-置物板;4-固定座;5-滑块;6-托板;7-驱动电机;8-支撑架;9-升降组件;10-储片仓;11-插片槽;12-底座Ⅱ;13-水平驱动气缸;14-滑杆;15-推块;16-夹持槽;17-平台;18-丝杆;19-水平推杆。
具体实施方式
实施例1
如图1-2所示,本实施例提供了一种上蜡机取片装置,包括控制器、平台17、取片机构、升降机构和推送机构;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造