[实用新型]一种氮化镓反应釜的分部清洗装置

权利要求书

1.一种氮化镓反应釜的分部清洗装置，用于清洗至少具有釜盖(602)和釜体(601)的反应釜，其特征在于，包括清洗模组和管路系统(4)，所述清洗模组至少包括若干用于清洗釜体(601)的釜体(601)清洗部(1)、以及若干用于清洗釜盖(602)的釜盖(602)清洗部(2)，所述管路系统(4)将反应溶液、水和高温气体依次地分别通入釜体(601)清洗部(1)和釜盖(602)清洗部(2)，以釜体(601)清洗部(1)中的釜体(601)和清洗釜盖(602)清洗部(2)中的釜盖(602)。

2.根据权利要求1所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述分部清洗装置用于清洗包括釜盖(602)、釜体(601)和连接件的反应釜，所述清洗模组包括用于清洗釜体(601)的釜体(601)清洗部(1)、用于清洗釜盖(602)的釜盖(602)清洗部(2)、以及用于清洗连接件的连接件清洗部(3)。

3.根据权利要求2所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述管路系统(4)包括溶液槽(401)、主水管(402)、气体控制箱(403)、进液管(404)、进水管(406)、进气管(408)和喷淋管(409)；所述溶液槽(401)用于盛放反应溶液，且通过若干进液管(404)将反应溶液分别通入不同清洗部；所述主水管(402)内通有水，且通过若干进水管(406)将水分别通入清洗模组当中的不同清洗部；所述气体控制箱(403)用于加热气体，且通过进气管(408)将高温气体分别通入不同清洗部。

4.根据权利要求3所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述釜体(601)清洗部(1)为辅槽一(101)，所述辅槽一(101)设有至少两个清洗工位(102)；且两个清洗工位(102)共用一个漏液槽(103)，所述漏液槽(103)用于盛装从釜体(601)溢出的水。

5.根据权利要求4所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述清洗工位(102)设有均呈U型设置的液水弯管(104)和气水弯管(105)，所述液水弯管(104)一端同时连通进液管(404)和进水管(406)，所述气水弯管(105)一端同时连通喷淋管(409)和气体控制箱(403)；当釜体(601)置于清洗工位(102)时，所述液水弯管(104)或气水弯管(105)的另一端伸至釜体(601)内部。

6.根据权利要求3所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述釜盖(602)清洗部(2)包括至少两个辅槽，釜盖(602)在其中一个辅槽中进行反应工序和冲洗工序，且在另一个辅槽当中进行干燥工序。

7.根据权利要求6所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述釜盖(602)清洗部(2)包括辅槽二(201)、辅槽三(202)和辅槽四(203)；所述辅槽二(201)通过进液管(404)与溶液槽(401)连通，釜盖(602)在所述辅槽二(201)中进行反应工序；所述辅槽三(202)通过进水管(406)与主水管(402)连通，釜盖(602)在辅槽三(202)中进行水冲洗工序；所述辅槽四(203)通过进气管(408)与气体控制箱(403)连通，釜盖(602)在辅槽四(203)中进行干燥工序。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述分部清洗装置还包括带有供液泵(501)和回收泵(502)的控制系统，所述供液泵(501)通过进液管(404)将反应溶液泵至清洗模组，在完成反应后，回收泵(502)将反应溶液通过溶液抽液管(405)泵回溶液槽(401)。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的氮化镓反应釜的分部清洗装置，其特征在于，所述釜体(601)清洗部(1)设置有m组，所述釜盖(602)清洗部(2)设置有n组，其中，m和n均≥1。