[实用新型]一种全自动子母环脱膜机

说明书

本实用新型公开一种全自动子母环脱膜机，包括机架，机架上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置、取料装置、预热加工位、上料机械手、脱膜装置、第二脱膜装置、晶圆成品盒、收料机械手、蓝膜打包装置和蓝膜收料桶；所述上料装置供待加工的子母环放置，所述取料装置将子母环移至预热加工位预热，所述上料机械手将子母环移至脱膜装置上，所述脱膜装置脱除子母环的子环、母环和蓝膜，两个所述晶圆成品盒分别设置在两个所述的脱膜装置下部，所述晶圆成品盒供子环和母环盛放，所述收料机械手将蓝膜运送至蓝膜打包装置，所述蓝膜打包装置将蓝膜折叠，所述蓝膜收料桶供折叠好的蓝膜盛放。本实用新型实现了子母环自动化脱膜的全部工序。

技术领域

本实用新型涉及子母环加工技术领域，特别涉及一种全自动子母环脱膜机。

背景技术

LED晶元(LED Wafer)在加工中需要对其分选后的子母环进行分离，分别得到外环(母环)和内环(子环)，并留下废膜(蓝膜)加以回收，目前LED分选后子母环的拆分均采用人工手动操作，浪费人力资源，且在操作过程中杂乱无章。

申请号为CN201822176322.8的中国专利，提出了一种LED晶元子母环分离装置，其在滑轨上滑动安装有相互联动的横移吸盘机构和内环滑道机构。其虽然实现了子母环的分离，但是其对于分离的子环、母环的收集和蓝膜的收集并无相应的工序。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种全自动子母环脱膜机，克服上述缺陷，使子母环脱膜机自动化程度更高。

为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种全自动子母环脱膜机，包括机架，机架上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置、取料装置、预热加工位、上料机械手、脱膜装置、晶圆成品盒、收料机械手、蓝膜打包装置和蓝膜收料桶；

所述上料装置供待加工的子母环放置，所述取料装置将子母环移至预热加工位预热，所述上料机械手将子母环移至脱膜装置上，两个所述的脱膜装置同时脱除子母环的子环、母环和蓝膜，两个所述晶圆成品盒分别设置在两个所述的脱膜装置下部，所述晶圆成品盒供子环和母环盛放，所述收料机械手将蓝膜运送至蓝膜打包装置，所述蓝膜打包装置将蓝膜堆叠，所述蓝膜收料桶供堆叠好的蓝膜盛放。

优选的，所述上料装置包括上料料桶和上料转盘；四个所述的上料料桶设置在上料转盘上，上料转盘通过转动电机和支架设置在机架上。

优选的，所述脱膜装置由压子环气缸、子环收料轨道、蓝膜固定装置、母环吸盘装置、母环收料轨道和伺服顶升机构构成，

所述压子环气缸通过支杆架设在机架上，所述伺服顶升机构安装在机架上，所述母环吸盘装置设置在伺服顶升机构顶部，所述子环收料轨道设置在压子环气缸下部侧方，所述母环收料轨道设置在母环吸盘装置的一侧，所述蓝膜固定装置设置在压子环气缸和母环吸盘装置之间，所述子环收料轨道短于母环收料轨道，所述子环收料轨道和母环收料轨道的轨道底板尽头均设置一落料孔。

优选的，所述晶圆成品盒包括盒板、子环成品盒、母环成品盒和把手；所述子环成品盒、母环成品盒前后设置在盒板上，所述盒板滑设在机架上，在盒板上设置供人工移动盒板的把手。

优选的，所述蓝膜打包装置包括打包机械手、打包辊轮和升降吸盘；所述打包机械手通过滑轨和皮带设置在机架上，所述打包辊轮架设在机架边缘，所述升降吸盘架设在在机架上，所述升降吸盘将打包机械手上的蓝膜升至打包辊轮。

采用上述方案后，本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过上料装置、取料装置、脱膜装置、蓝膜打包装置等机构实现了子母环自动化脱膜的全部工序，完成了子母环的自动上料、自动脱膜及自动收集等工序。

附图说明

图1是本实用新型的顶视图；

图2是本实用新型的结构示意图一；

图3是本实用新型的结构示意图二；