[实用新型]反远摄镜头、反远摄系统及扫描设备

说明书

本申请公开了一种反远摄镜头、反远摄系统、及扫描设备。沿着光轴从物侧至像侧，反远摄镜头依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜；反远摄镜头的反远摄比的取值范围为[7.40，7.80]。本申请实施方式的反远摄镜头具有较大的反远摄比，对穿过反远摄镜头的光束有较强的汇聚作用，在搭配激光器使用时能够显著提高激光的光功率密度，以能够使激光器在有限的最大功率下增大照明光强。

技术领域

本申请涉及光学检测领域，更具体而言，涉及一种反远摄镜头、反远摄系统、及扫描设备。

背景技术

目前，工件缺陷检测，例如晶圆表面缺陷检测常用的技术手段是光学检测技术，其具有检测速度快、无污染等优点。将激光照射在晶元表面后，通过晶元表面颗粒对光的散射，来判断该区域中存在的颗粒数。但是，由于散射光强和颗粒直径的6次方成正比，因此目标颗粒尺寸越小，目标颗粒的散射光强度就呈6 次方指数下降。当颗粒小于一定尺寸后，系统将无法检测到该颗粒的散射光信号。因此，在检测小尺寸颗粒时，就需要较高功率的激光器，以使照明光强弥补由于粒径减小导致的光信号降低。但是，由于激光器的最大功率是有限的，因此，如何在有限的最大功率下，提高激光的光功率密度以增大照明光强是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本申请实施方式提供一种反远摄镜头、反远摄系统、及扫描设备。

本申请实施方式的反远摄镜头沿着光轴从物侧至像侧，所述反远摄镜头依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜；所述反远摄镜头的反远摄比的取值范围为[7.40，7.80]。

在某些实施方式中，所述第一透镜具有负光焦度，所述第一透镜的物侧面为凹面，所述第一透镜的像侧面为凹面。所述第二透镜具有正光焦度，所述第二透镜的物侧面为凹面，所述第二透镜的像侧面为凸面。所述第三透镜具有负光焦度，所述第三透镜的物侧面为凸面，所述第三透镜的像侧面为凹面。所述第四透镜的物侧面为凸面，所述第四透镜的像侧面为凹面。所述第五透镜具有正光焦度，所述第五透镜的物侧面为凸面，所述第五透镜的像侧面为凸面。

在某些实施方式中，所述第五透镜为玻璃透镜，所述第五透镜的像侧面到成像面之间的距离的取值范围为[155.00mm，298.00mm]。

在某些实施方式中，所述反远摄镜头的焦距的取值范围为[20.00mm， 40.00mm]。

在某些实施方式中，所述第一透镜至所述第五透镜均为柱面镜。

在某些实施方式中，所述反远摄镜头还包括光阑，所述光阑设置在所述第三透镜与所述第四透镜之间。

在某些实施方式中，所述反远摄镜头满足条件式：-7.70mm≤f1≤-6.90mm，其中，f1为所述第一透镜的焦距。

在某些实施方式中，所述反远摄镜头满足条件式：44.00mm≤f2≤53.00mm，其中，f2为所述第二透镜的焦距。

在某些实施方式中，所述反远摄镜头满足条件式：-127.00mm≤f3≤ -77.00mm；其中，f3为所述第三透镜的焦距。

在某些实施方式中，所述反远摄镜头满足条件式：-133.00mm≤f4≤＜1434.00mm，其中，f4为所述第四透镜的焦距。

在某些实施方式中，所述反远摄镜头满足条件式：-61.50mm≤f5≤ -50.30mm，其中，f5为所述第五透镜的焦距。

在某些实施方式中，所述第一透镜的物侧面至像侧面的轴上距离为 3.70mm。

在某些实施方式中，所述第二透镜的物侧面至像侧面的轴上距离为 4.38mm。

在某些实施方式中，所述第三透镜的物侧面至像侧面的轴上距离为 3.70mm。