[实用新型]一种晶圆金属环存放架

权利要求书

1.一种晶圆金属环存放架，其特征在于：包括“门”字型的顶框（1）和两根条形的底杆（13），所述底杆（13）之间通过连接片（14）固定连接，所述顶框（1）和所述底杆（13）之间间隔交错设置有“门”字型的分层框（9）和条形的分隔板（10），所述分隔板（10）的内径小于所述分层框（9）的内径尺寸，且两个所述分层框（9）之间形成存放槽，所述顶框（1）和所述底杆（13）内侧设置有竖直对应的凸块（5），所述凸块（5）之间连接有螺纹杆（16）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述顶框（1）内侧设置有两根水平的加强筋（2），所述顶框（1）的底部设置有加强片（3）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：两根所述加强筋（2）之间活动安装有活动提手（4）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述顶框（1）和所述底杆（13）的两侧端部设置有相互对应的固定部（6），所述固定部（6）上开设有固定孔（7）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述分层框（9）和所述分隔板（10）的两侧端部设置有定位部（11），所述定位部（11）与所述固定部（6）竖直对应，所述定位部（11）上开设有与所述固定孔（7）竖直对应的定位孔（12），且所述固定孔（7）和所述定位孔（12）内设置有所述螺纹杆（16）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述底杆（13）的内侧开设有滑槽（15），所述连接片（14）通过螺钉固定在所述滑槽（15）内部。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述凸块（5）上开设有限位孔（8），所述限位孔（8）与所述螺纹杆（16）相互配合。