[实用新型]一种晶圆的超声波清洗机

权利要求书

1.一种晶圆的超声波清洗机，其特征在于：包括底板(10)、机架(11)、清洗箱(20)和吸附机构(30)，所述机架(11)设有两个，两个所述机架(11)底端分别固定连接于底板(10)顶部两侧，所述清洗箱(20)设有两个，所述清洗箱(20)分别位于机架(11)之间的顶部和底部，两个所述清洗箱(20)均固定安装于机架(11)内侧，所述吸附机构(30)设有两个，两个所述吸附机构(30)固定安装于两个所述清洗箱(20)之间，所述吸附机构(30)包括吸附箱(31)，所述吸附箱(31)内壁顶部和底部均固定连接有支撑块(32)，所述支撑块(32)之间设有滤芯(33)，所述滤芯(33)一侧固定连接有连接板(35)，所述吸附箱(31)靠近连接板(35)一侧开有箱口(34)，且所述连接板(35)与箱口(34)相匹配，所述吸附箱(31)顶部和底部分别固定连接有第一通水管(311)和第二通水管(312)，所述第一通水管(311)底端延伸至滤芯(33)顶端，所述第二通水管(312)顶端延伸至滤芯(33)底端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述机架(11)一侧通过固定板固定安装有水泵(40)，所述水泵(40)输入端通过水管与底部的清洗箱(20)连通，所述水泵(40)输出端固定连接有输水管(41)，所述输水管(41)顶端贯穿至顶部的清洗箱(20)内腔。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述清洗箱(20)内壁底部固定连接有放置架(22)，所述放置架(22)上设有网箱(23)，所述网箱(23)设有若干个，所述清洗箱(20)顶部中间插接有箱盖(21)，所述清洗箱(20)底部固定安装有声波发生器(24)，所述清洗箱(20)表面设有观察窗(201)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆的超声波清洗机，其特征在于：其中位于机架(11)顶部的所述清洗箱(20)顶部一侧固定连接有进水管(50)，其中位于机架(11)底部的所述清洗箱(20)底部一侧固定连接有出水管(51)，所述出水管(51)表面固定安装有阀门(52)。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述箱盖(21)顶部和连接板(35)一侧分别焊接有第一扶把手(211)和第二扶把手(351)。