[实用新型]一种热驱动的谐振式微泵

权利要求书

1.一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：包括衬底(1)，所述衬底(1)上表面沿自身长度方向开设有供微流体穿过的流道(2)，所述衬底(1)上设置有用于封闭流道(2)的封盖(3)，所述封盖(3)上通过刻蚀形成空腔(4)，所述空腔(4)连通流道(2)，所述空腔(4)上方未刻蚀的衬底(1)部分形成振膜(5)，所述振膜(5)上表面制作电热丝(6)。

2.根据权利要求1所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述空腔(4)设置为圆柱形，所述电热丝(6)设置为与空腔(4)同心的圆环形。

3.根据权利要求2所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述流道(2)开设有位于空腔(4)正下方的滞留槽(7)，所述滞留槽(7)的宽度大于流道(2)，所述流道(2)进入滞留槽(7)的一端的宽度由宽变窄，所述流道(2)离开滞留槽(7)的一端的宽度由宽变窄。

4.根据权利要求3所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述衬底(1)和封盖(3)均采用晶圆材料。

5.根据权利要求4所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述衬底(1)的厚度为200-2000um，所述封盖(3)的厚度为200-2000um。

6.根据权利要求5所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述衬底(1)的厚度为400-800um。

7.根据权利要求6所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述流道(2)通过深反应离子刻蚀或者湿法刻蚀。

8.根据权利要求7所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述电热丝(6)通过物理气相沉积、蒸镀或电镀加工，所述电热丝(6)的厚度为0.01-10um。

9.根据权利要求8所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述电热丝(6)的厚度为0.05-1um，所述振膜(5)的厚度为10-200um。

10.根据权利要求9所述的一种热驱动的谐振式微泵，其特征在于：所述衬底(1)和封盖(3)通过阳极键合、硅硅键合或金属键合来封闭流道(2)。