[实用新型]一种镜片清洁装置

说明书

本申请公开了一种镜片清洁装置，包括支撑基座、镜片承载装置和镜片清洁单元，所述镜片承载装置与第一进给单元连接设置，以使所述镜片承载装置按照设定的运行路线进给；每个所述镜片清洁单元与一个第二进给单元连接设置，以使所述镜片清洁单元能够靠近或远离所述镜片承载装置；至少部分所述镜片清洁单元实施抛光清洁，至少部分所述镜片清洁单元实施清洁液清洁；所述镜片清洁装置还包括电控系统，所述第一进给单元、所述第二进给单元和多个所述镜片清洁单元均受所述电控系统控制。本申请所公开的所述镜片清洁装置能够高效、高质量、批量化地对各种镜片实施清洁，同时还能降低清洁成本、解放劳动力并具有便于安全化管理等优点。

技术领域

本申请属于镜面清洁技术领域，尤其涉及一种镜片清洁装置。

背景技术

镜片可以被认定为一种可视窗，所以镜片的清洁程度对其正常使用起着至关重要的影响，尤其在大量生产、使用镜片的场合，能够对进行批量化、自动化清洁具有重要意义。另外，在某些工业场合，所使用的镜片的清洁对工业生产也起着举足轻重的影响。

众所周知，碳化硅是重要的第三代半导体材料之一，因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿强度大、热导率高等特性，被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。

在碳化硅的生产过程中，要想获得一定品质的产品，必须对长晶炉内的环境进行精准地监测，尤其是在引晶过程，长晶炉内的环境对晶格的方向起着至关重要的作用，故需要对长晶炉进行有效地监控。现有技术中，为了对长晶炉内部实施监测，需要在长晶炉上开设窗口，并在长晶炉工作过程中，在窗口上设置视窗镜片，以便更好地时工人、仪器通过所述视窗镜片对长晶炉内部进行监测。由于长晶炉内部的工作环境极其恶劣(内部温度达两千度以上)，普通镜片难以同时满足耐高温、透光性好、强度高等要求，故需要价格昂贵的视窗镜片以满足精准监控的要求。除此之外，在长晶炉工作过程中，极易在视窗镜片上形成难以擦拭掉且影响观察的有色膜，甚至会在视窗镜片表面上产生结晶；为了能够使长晶炉在下次工作时能够被精准、有效地监测，需要在一次结晶完成后，将视窗镜片取下进行清洁，使其满足观察要求。

然而，传统的做法是：首先，通过人工的方式用研磨液对视窗镜片进行长时间研磨，以将附着在其表面的难以清除的有色膜、结晶等附着物研磨掉；接着，通过清洁液对其表面再进行至少两次长时间擦拭才能达到再次使用的要求。这种做法存在诸多问题，例如由于每个视窗镜片的清洁时间较长，而且在清洁过程中极易造成清洁液的浪费，极大程度地增加了清洁成本；再如，在清洁过程中需要使用清洁液对其进行清洁，清洁液往往含有对人体有害的物质，极易对工人造成伤害；再例如，在清洁过程中，需要用到高浓度的工业酒精，工业酒精的使用对工作环境的要求极高，如果不能得到有效的管控，极易造成安全事故。值得注意的是，企业里的长晶炉往往批量化工作，如果不能够快速、批量化地对视窗镜片进行有效地清洁，甚至会影响工厂的正常生产。除此之外，对视窗镜片的清洁需要占用大量的人力，进而增加企业的劳动力成本。

为了解决现有技术所存在至少上述诸多问题，申请人特提出了一种可以快速、高效、批量化清洁视窗镜片的清洁装置。

需要说明的是，上述内容属于发明人的技术认知范畴，并不必然构成现有技术。

实用新型内容

本实用新型提供了一种镜片清洁装置，以解决上述技术问题中的至少一个技术问题。

本实用新型所采用的技术方案为：