[实用新型]一种抗高过载MEMS惯性测量单元

说明书

本实用新型公开了一种抗高过载MEMS惯性测量单元，属于微机电系统技术领域，包括惯性传感器，所述惯性传感器的底侧焊接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的一端焊接有第一弹簧，所述第一弹簧的一端焊接有垫板，所述垫板的一侧焊接有推动板，所述推动板的底侧焊接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端焊接有底座，所述底座的内侧安装有加热壳，所述加热壳内侧粘接有导热板，所述加热壳的顶侧焊接支撑座，所述支撑座的内部安装有插座，所述插座的底侧电性连接有电热丝。本装置结构简单，可以有效的应对高过载情况下的惯性测量单元，保证其可以稳定的进行运作，在一定程度上降低高过载情况下，对设备的影响。

技术领域

本实用新型涉及微机电系统技术领域，具体为一种抗高过载MEMS惯性测量单元。

背景技术

微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术，常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。

MEMS惯性测量单元分为：低精度MEMS惯性传感器作为消费电子类产品、中级MEMS惯性传感器作为工业级及汽车级产品以及高精度的MEMS惯性传感器作为军用级和宇航级产品。在实际运用中，由于惯性传感器，所承受的负荷力不同，也就导致了在进行惯性测量时，容易出现负荷力过高，对仪器造成影响，从而失去惯性测量的准确性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种抗高过载MEMS惯性测量单元，主要由惯性传感器、第一支撑杆、第二支撑杆、推动板、底座、加热壳等部件组成，本装置结构简单，可以有效的应对高过载情况下的惯性测量单元，保证其可以稳定的进行运作，在一定程度上降低高过载情况下，对设备的影响。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种抗高过载MEMS惯性测量单元，包括惯性传感器，所述惯性传感器的底侧焊接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的一端焊接有第一弹簧，所述第一弹簧的一端焊接有垫板，所述垫板的一侧焊接有推动板，所述推动板的底侧焊接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端焊接有底座，所述底座的内侧安装有加热壳，所述加热壳内侧粘接有导热板，所述加热壳的顶侧焊接支撑座，所述支撑座的内部安装有插座，所述插座的底侧电性连接有电热丝，所述电热丝的一端电性连接有电阻块。

优选的，所述底座的顶侧插接有第二支撑杆，所述底座的内侧涂装有防腐蚀漆层。

优选的，所述第二支撑杆设置为内部中空的筒状结构，所述第二支撑杆的内部设有第一支撑杆，所述垫板位于第二支撑杆的底侧。

优选的，所述推动板位于底座的内部，所述推动板的一侧开设有出油孔，所述推动板的外部涂装有润滑漆层。

优选的，所述加热壳设置为顶部开口的矩形状结构，所述加热壳的外部涂装有导热漆层。

优选的，所述电阻块的底侧设置支撑板，所述支撑板焊接于加热壳的内部底侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在进行惯性测量时，外来的负荷力，首先会接触到惯性传感器，如果负荷力过大，出现过载的现象，这时惯性传感器会将第一支撑杆向第二支撑杆的内部进行挤压，接着垫板在受到第一弹簧推动力的情况下，将推动板进行推动，然后推动板就会向着底座内的液压油的内部进行沉浸，这样就很好的符合力进行分解处理，同时受到第二弹簧的作用力，会使得推动板再次回到初始位置，而同样的第一支撑杆在受到第一弹簧的作用力下，也会回到初始位置，对惯性传感器进行支撑，在如此的循环下，可以在过载的情况下，继续进行惯性测量，同时还保护测量的设备，并且结构比较简单，实用性高；