[实用新型]一种适应高速旋转的高精度MEMS惯性测量组件有效
| 申请号： | 202022950373.9 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN214470909U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 范黎明 | 申请（专利权）人： | 北京一零一航空电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16;F16F15/067;H05K7/20 |
| 代理公司： | 成都华复知识产权代理有限公司 51298 | 代理人： | 王洪霞 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适应 高速 旋转 高精度 mems 惯性 测量 组件 | ||
1.一种适应高速旋转的高精度MEMS惯性测量组件，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内部安装有芯体(2)，所述芯体(2)的底部粘接有活动板(3)，所述活动板(3)的底侧焊接有升降杆(7)，所述升降杆(7)的外部活动套接有第二弹簧(6)，所述升降杆(7)的底端通过第一铰接杆(8)铰接有连接杆(9)，所述连接杆(9)的底端通过第二铰接杆(10)铰接有滑动块(11)，所述滑动块(11)的一侧焊接有活动杆(13)，所述活动杆(13)一端活动插接于缸体(15)的内部，所述缸体(15)的外部安装有制冷块(16)，所述缸体(15)的一端插接有连接管(17)，所述连接管(17)的一端固定连接有主水管(18)，所述主水管(18)的一端插接于副水管(19)的一侧，所述副水管(19)的外部插接有分流管(20)。
2.根据权利要求1所述的一种适应高速旋转的高精度MEMS惯性测量组件，其特征在于：所述活动板(3)的底侧分别焊接有第一弹簧(5)，两组所述第一弹簧(5)的一端均焊接于支撑板(4)的顶侧。
3.根据权利要求2所述的一种适应高速旋转的高精度MEMS惯性测量组件，其特征在于：所述支撑板(4)焊接于外壳(1)的内侧，所述支撑板(4)的内部开设有与升降杆(7)外径相匹配的通孔，所述升降杆(7)的外部活动插接于支撑板(4)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种适应高速旋转的高精度MEMS惯性测量组件，其特征在于：所述滑动块(11)的底侧安装于滑动轨(12)的内部，所述滑动轨(12)安装于外壳(1)的内侧。
5.根据权利要求1所述的一种适应高速旋转的高精度MEMS惯性测量组件，其特征在于：所述活动杆(13)的一端焊接有密封垫(14)，所述密封垫(14)的外部贴合于缸体(15)的内侧，所述缸体(15)设置为圆柱形结构，所述制冷块(16)设置上下开口的筒状结构。
6.根据权利要求1所述的一种适应高速旋转的高精度MEMS惯性测量组件，其特征在于：所述分流管(20)位于外壳(1)的内侧，所述分流管(20)的外部涂装有导热漆层。
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