[实用新型]一种单晶炉保温筒的拆装装置

说明书

本实用新型涉及一种单晶炉保温筒的拆装装置，包括夹持机构、主轴、升降驱动机构、旋转驱动机构；所述夹持机构用于夹持所述保温筒，所述夹持机构安装在所述主轴上，所述升降驱动机构能够驱动所述夹持机构沿所述主轴上下移动，所述旋转驱动机构通过驱动所述主轴转动以带动所述夹持机构转动。夹持机构夹持保温筒后通过升降、旋转等运动来完成保温筒的拆装，实现保温筒拆装的机械化作业，降低劳动强度、缩短拆装工时、提高拆装效率；拆装过程中不易对石墨软毡及热场件造成损坏，减少石墨软毡的使用消耗、降低热场拆装风险。

技术领域

本实用新型涉及拆装装置技术领域，尤其涉及一种单晶炉保温筒的拆装装置。

背景技术

单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料；单晶炉则是一种在惰性气体(氮气、氦气为主) 环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生产单晶硅的设备。单晶炉的热场系统包括包含保温筒在内的保温装置，保温筒通常包括使用石墨或碳碳材质制成的筒体主体以及包裹于筒体主体外部的石墨碳毡。为实现所需的不同纵向和径向温度梯度，上部、中部、和下部采用不同规格保温筒及石墨软毡，来达到合理的热场配置，以提高长晶质量。

与之前单晶炉的热场尺寸相比，现阶段单晶炉热场一般为28英寸、30英寸、32英寸的大尺寸热场，上部、中部、下部保温筒的外径最大可达1.5m～2m，保温筒尺寸增加则单体重量也随之增加。目前单晶炉在拆装炉时，上部保温筒、中部保温筒、下部保温筒多采用人工徒手拆装作业。在拆装过程中，保温筒外部包裹的石墨软毡易被拉扯，导致石墨软毡翻毛、拉升变形，缩短了石墨软毡使用寿命。同时，因上部、中部、下部保温筒单体重量增加，导致人工拆装作业时损坏热场件的风险增大，同时也使拆装作业工时增加、劳动强度增大，增加了生产成本，在一定程度上影响到单晶硅的拉制产量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉保温筒的拆装装置，以解决单晶炉保温筒目前的人工拆装方式易造成石墨软毡损耗、拆装过程中热场件损坏风险大的技术问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采取以下方案来实现：一种单晶炉保温筒的拆装装置，其特征在于：所述拆装装置包括夹持机构、主轴、升降驱动机构、旋转驱动机构；所述夹持机构用于夹持所述保温筒，所述夹持机构安装在所述主轴上，所述升降驱动机构能够驱动所述夹持机构沿所述主轴上下移动，所述旋转驱动机构通过驱动所述主轴转动以带动所述夹持机构转动；所述夹持机构包括第一夹持臂、第二夹持臂及用于安装所述第一夹持臂、第二夹持臂的安装机架；所述安装机架与所述主轴相连接，所述第一夹持臂能够沿所述安装机架滑动，保温筒能够被夹持于所述第一夹持臂、第二夹持臂之间。

进一步的：所述第二夹持臂也能够沿所述安装机架滑动，所述夹持机构还包括安装在所述安装机架上的双向液压缸，所述第一夹持臂、第二夹持臂分别固定在所述双向液压缸两端的活塞杆上。

进一步的：所述安装机架包括两根相平行的滑道，所述第一夹持臂、第二夹持臂能够在所述滑道上滑动。

进一步的：所述第一夹持臂上固定有第一齿轮滑道、所述第二夹持臂上固定有第二齿轮滑道，所述安装机架上安装有传动齿轮，所述第一齿轮滑道、第二齿轮滑道相平行，所述传动齿轮与所述第一齿轮滑道及第二齿轮滑道相啮合。

进一步的：所述升降驱动机构包括固定安装于所述主轴上的齿条、安装于所述安装机架上并与所述齿条相啮合的齿轮、用于驱动所述齿轮转动的第一驱动电机，所述齿轮的转动带动所述齿轮及所述安装机架沿所述齿条上下移动。

进一步的：所述旋转驱动机构包括安装在所述主轴上的从动齿轮、与所述从动齿轮相啮合的主动齿轮、驱动所述主动齿轮转动的第二驱动电机，所述主动齿轮的转动通过所述从动齿轮带动所述主轴转动。

进一步的：所述拆装装置还包括控制器、控制按钮，所述控制器的输入端与所述控制按钮相连，所述控制器的输出端与所述第一驱动电机、第二驱动电机、双向液压缸相连，通过控制按钮可以操控所述第一驱动电机、第二驱动电机、双向液压缸的启停。