[实用新型]一种石墨舟有效
申请号: | 202022955021.2 | 申请日: | 2020-12-08 |
公开(公告)号: | CN213866408U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 任永伟;何悦;贾松燕;任勇 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 322118 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 | ||
1.一种石墨舟,其特征在于,包括石墨舟片(1)和卡点(2),所述石墨舟片(1)上固定贴设有硅片(10),所述硅片(10)的底边与所述石墨舟片(1)的底边成夹角设置,所述卡点(2)卡接于所述石墨舟上且与所述硅片(10)抵接,所述卡点(2)上设有转动槽(211),工具能够插接于所述转动槽(211)内旋转以带动所述卡点(2)转动,所述卡点(2)设有多个,多个所述卡点(2)沿所述硅片(10)的周向设置,以将所述硅片(10)抵接固定。
2.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述卡点(2)包括旋转部(21)和抵接部(22),所述抵接部(22)固定套接于所述旋转部(21)的外周,所述抵接部(22)与所述硅片(10)抵接,所述转动槽(211)设置于所述旋转部(21)上。
3.根据权利要求2所述的石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(1)上设有卡接孔,所述抵接部(22)卡接于所述卡接孔内,所述旋转部(21)的两端伸出所述抵接部(22)设置,且所述旋转部(21)的两端均设有所述转动槽(211)。
4.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述夹角α为3°~8°。
5.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述卡点(2)设有三个,其中两个所述卡点(2)分别相对抵接于所述硅片(10)的两侧边,另一个所述卡点(2)抵接于所述硅片(10)的底部。
6.根据权利要求5所述的石墨舟,其特征在于,位于所述硅片(10)的侧边较低的一个所述卡点(2)距离所述硅片(10)同侧的底角的距离为30mm~40mm,位于所述硅片(10)的侧边较高的一个所述卡点(2)距离所述硅片(10)同侧的顶角的距离为30mm~50mm,位于所述硅片(10)底部的卡点(2)距离所述底角的距离为35mm~60mm。
7.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述石墨舟还包括陶瓷圈(3)和陶瓷杆,所述石墨舟片(1)设有多个,相邻两个所述石墨舟片(1)通过所述陶瓷杆连接,所述陶瓷圈(3)套接于所述陶瓷杆上且抵接于相邻两个所述石墨舟片(1)之间。
8.根据权利要求7所述的石墨舟,其特征在于,所述陶瓷圈(3)上设有清洗孔(311),所述清洗孔(311)设有至少两个,以便于清洗液的流入和流出。
9.根据权利要求8所述的石墨舟,其特征在于,两个所述清洗孔(311)分别设于所述陶瓷圈(3)的两端。
10.根据权利要求7所述的石墨舟,其特征在于,所述陶瓷圈(3)包括上陶瓷圈(31)和下陶瓷圈(32),所述上陶瓷圈(31)设置于所述硅片(10)的顶部,所述硅片(10)顶部的最高点低于所述上陶瓷圈(31)的底部,所述下陶瓷圈(32)设置于所述硅片(10)的底部,所述硅片(10)底部的最低点高于所述下陶瓷圈(32)的顶部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于横店集团东磁股份有限公司,未经横店集团东磁股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022955021.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种防干扰FPC
- 下一篇:一种便携抗震的户外音响设备
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的