[实用新型]一种石墨舟有效

专利信息
申请号: 202022955021.2 申请日: 2020-12-08
公开(公告)号: CN213866408U 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 任永伟;何悦;贾松燕;任勇 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨
【权利要求书】:

1.一种石墨舟,其特征在于,包括石墨舟片(1)和卡点(2),所述石墨舟片(1)上固定贴设有硅片(10),所述硅片(10)的底边与所述石墨舟片(1)的底边成夹角设置,所述卡点(2)卡接于所述石墨舟上且与所述硅片(10)抵接,所述卡点(2)上设有转动槽(211),工具能够插接于所述转动槽(211)内旋转以带动所述卡点(2)转动,所述卡点(2)设有多个,多个所述卡点(2)沿所述硅片(10)的周向设置,以将所述硅片(10)抵接固定。

2.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述卡点(2)包括旋转部(21)和抵接部(22),所述抵接部(22)固定套接于所述旋转部(21)的外周,所述抵接部(22)与所述硅片(10)抵接,所述转动槽(211)设置于所述旋转部(21)上。

3.根据权利要求2所述的石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(1)上设有卡接孔,所述抵接部(22)卡接于所述卡接孔内,所述旋转部(21)的两端伸出所述抵接部(22)设置,且所述旋转部(21)的两端均设有所述转动槽(211)。

4.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述夹角α为3°~8°。

5.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述卡点(2)设有三个,其中两个所述卡点(2)分别相对抵接于所述硅片(10)的两侧边,另一个所述卡点(2)抵接于所述硅片(10)的底部。

6.根据权利要求5所述的石墨舟,其特征在于,位于所述硅片(10)的侧边较低的一个所述卡点(2)距离所述硅片(10)同侧的底角的距离为30mm~40mm,位于所述硅片(10)的侧边较高的一个所述卡点(2)距离所述硅片(10)同侧的顶角的距离为30mm~50mm,位于所述硅片(10)底部的卡点(2)距离所述底角的距离为35mm~60mm。

7.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述石墨舟还包括陶瓷圈(3)和陶瓷杆,所述石墨舟片(1)设有多个,相邻两个所述石墨舟片(1)通过所述陶瓷杆连接,所述陶瓷圈(3)套接于所述陶瓷杆上且抵接于相邻两个所述石墨舟片(1)之间。

8.根据权利要求7所述的石墨舟,其特征在于,所述陶瓷圈(3)上设有清洗孔(311),所述清洗孔(311)设有至少两个,以便于清洗液的流入和流出。

9.根据权利要求8所述的石墨舟,其特征在于,两个所述清洗孔(311)分别设于所述陶瓷圈(3)的两端。

10.根据权利要求7所述的石墨舟,其特征在于,所述陶瓷圈(3)包括上陶瓷圈(31)和下陶瓷圈(32),所述上陶瓷圈(31)设置于所述硅片(10)的顶部,所述硅片(10)顶部的最高点低于所述上陶瓷圈(31)的底部,所述下陶瓷圈(32)设置于所述硅片(10)的底部,所述硅片(10)底部的最低点高于所述下陶瓷圈(32)的顶部。

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