[实用新型]一种固晶机用的晶圆移动平面工作台

权利要求书

1.一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，包括箱体(1)、工作台本体(3)和水箱(8)，其特征在于，所述箱体(1)内壁滑动连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)上转动连接有丝杆(201)，所述工作台本体(3)与丝杆(201)螺纹连接，所述工作台本体(3)顶部内壁固定连接有循环水管(301)，所述支撑板(2)底部分别固定连接有电机(6)和活塞(7)，所述电机(6)输出端固定连接有转动轴(601)，所述转动轴(601)上固定连接有曲轴(602)，所述曲轴(602)与活塞(7)之间转动连接，所述活塞(7)与水箱(8)之间连接有第一软管(701)，所述活塞(7)与循环水管(301)之间连接有第二软管(702)，所述循环水管(301)与水箱(8)之间连接有第三软管(801)，所述转动轴(601)与丝杆(201)之间连接有传动机构。

2.根据权利要求1所述的一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，其特征在于,所述传动机构包括第一斜齿轮(202)、第二气缸(5)和第三斜齿轮(603)，所述第一斜齿轮(202)固定连接在丝杆(201)上，所述第二气缸(5)固定连接在支撑板(2)上，所述第二气缸(5)输出端转动连接有第二斜齿轮(501)，所述第三斜齿轮(603)固定连接在转动轴(601)上，所述第二斜齿轮(501)与第一斜齿轮(202)和第三斜齿轮(603)可啮合可分离。

3.根据权利要求1所述的一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，其特征在于，所述箱体(1)内壁设有滑槽(102)，所述支撑板(2)位于滑槽(102)内滑动，所述支撑板(2)上固定连接有第一导向杆(203)，所述第一导向杆(203)与工作台本体(3)之间滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，其特征在于，所述第一软管(701)与第二软管(702)内均设有单向阀(703)，所述水箱(8)固定连接在箱体(1)侧壁。

5.根据权利要求1所述的一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，其特征在于，所述箱体(1)底部内壁分别固定连接有第一气缸(4)和第二导向杆(401)，所述第一气缸(4)输出端与支撑板(2)固定连接，所述第二导向杆(401)与支撑板(2)之间滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，其特征在于，所述箱体(1)上设有盖板(9)，所述盖板(9)上固定连接有把手(901)，所述箱体(1)与水箱(8)底部分别固定连接有底座(101)。