[实用新型]一种带光学图像扫描的芯片测试设备有效

专利信息
申请号: 202022957055.5 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN213401147U 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 杨凯翔 申请(专利权)人: 广东万维半导体技术有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区布吉*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 光学 图像 扫描 芯片 测试 设备
【权利要求书】:

1.一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)上端面中部位置设置有检测台(2),所述底座(1)上端面尾部位置设置有机械杆(3),所述机械杆(3)前方设置有可调节的驱动板(4),所述驱动板(4)底部设置有扫描仪(5),所述检测台(2)上端面尾部位置设置有后挡板(6),所述检测台(2)上端面在后挡板(6)前方两侧位置设置有推进滑槽(7),所述推进滑槽(7)内设置有可调节的连接直板(8),所述连接直板(8)头部伸出推进滑槽(7)并设置有夹板(9),所述底座(1)上端面在检测台(2)前方位置设置有可转动的圆杆(10),所述圆杆(10)顶部设置有圆盘(11),所述圆盘(11)外圈一侧位置设置有横板(12),所述横板(12)上端面头部位置设置有握把(13)。

2.根据权利要求1所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述底座(1)上端面对应圆杆(10)设置有内嵌圆槽(14),所述内嵌圆槽(14)底部设置有固定圆槽(15),所述固定圆槽(15)内设置有驱动齿轮(16),所述圆杆(10)尾部伸入固定圆槽(15)并连接到驱动齿轮(16)上端面中部位置。

3.根据权利要求2所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述固定圆槽(15)前后方两侧位置均设置有固定长槽(17),所述固定长槽(17)内设置有可调节的驱动长杆(18),所述驱动长杆(18)内侧端面尾部位置对应驱动齿轮(16)设置有齿条(19)。

4.根据权利要求3所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述驱动长杆(18)内侧端面头部位置分别设置有矩形长杆(21)与矩形短杆(20),所述固定长槽(17)后方对应矩形长杆(21)与矩形短杆(20)分别设置有矩形长槽(23)与矩形短槽(22),所述矩形长槽(23)与矩形短槽(22)后方均设置有上固定槽(24),所述矩形长杆(21)与矩形短杆(20)头部伸入上固定槽(24)并设置有上直杆(25),所述连接直板(8)尾部伸入上固定槽(24)并连接到上直杆(25)上端面头部位置。

5.根据权利要求4所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述固定长槽(17)底部通过垫板设置有横柱(26),所述驱动长杆(18)头部对应横柱(26)设置有定位圆槽(27),所述横柱(26)外圈在驱动长杆(18)头部前方位置设置有活动套环(28),所述横柱(26)外圈在垫板与活动套环(28)之间的位置设置有弹簧(29)。

6.根据权利要求5所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述矩形长槽(23)与矩形短槽(22)内壁对应矩形长杆(21)与矩形短杆(20)各设置有一对弹性垫(30)。

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