[实用新型]一种带光学图像扫描的芯片测试设备有效
申请号: | 202022957055.5 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN213401147U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 杨凯翔 | 申请(专利权)人: | 广东万维半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区布吉*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学 图像 扫描 芯片 测试 设备 | ||
1.一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)上端面中部位置设置有检测台(2),所述底座(1)上端面尾部位置设置有机械杆(3),所述机械杆(3)前方设置有可调节的驱动板(4),所述驱动板(4)底部设置有扫描仪(5),所述检测台(2)上端面尾部位置设置有后挡板(6),所述检测台(2)上端面在后挡板(6)前方两侧位置设置有推进滑槽(7),所述推进滑槽(7)内设置有可调节的连接直板(8),所述连接直板(8)头部伸出推进滑槽(7)并设置有夹板(9),所述底座(1)上端面在检测台(2)前方位置设置有可转动的圆杆(10),所述圆杆(10)顶部设置有圆盘(11),所述圆盘(11)外圈一侧位置设置有横板(12),所述横板(12)上端面头部位置设置有握把(13)。
2.根据权利要求1所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述底座(1)上端面对应圆杆(10)设置有内嵌圆槽(14),所述内嵌圆槽(14)底部设置有固定圆槽(15),所述固定圆槽(15)内设置有驱动齿轮(16),所述圆杆(10)尾部伸入固定圆槽(15)并连接到驱动齿轮(16)上端面中部位置。
3.根据权利要求2所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述固定圆槽(15)前后方两侧位置均设置有固定长槽(17),所述固定长槽(17)内设置有可调节的驱动长杆(18),所述驱动长杆(18)内侧端面尾部位置对应驱动齿轮(16)设置有齿条(19)。
4.根据权利要求3所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述驱动长杆(18)内侧端面头部位置分别设置有矩形长杆(21)与矩形短杆(20),所述固定长槽(17)后方对应矩形长杆(21)与矩形短杆(20)分别设置有矩形长槽(23)与矩形短槽(22),所述矩形长槽(23)与矩形短槽(22)后方均设置有上固定槽(24),所述矩形长杆(21)与矩形短杆(20)头部伸入上固定槽(24)并设置有上直杆(25),所述连接直板(8)尾部伸入上固定槽(24)并连接到上直杆(25)上端面头部位置。
5.根据权利要求4所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述固定长槽(17)底部通过垫板设置有横柱(26),所述驱动长杆(18)头部对应横柱(26)设置有定位圆槽(27),所述横柱(26)外圈在驱动长杆(18)头部前方位置设置有活动套环(28),所述横柱(26)外圈在垫板与活动套环(28)之间的位置设置有弹簧(29)。
6.根据权利要求5所述的一种带光学图像扫描的芯片测试设备,其特征在于:所述矩形长槽(23)与矩形短槽(22)内壁对应矩形长杆(21)与矩形短杆(20)各设置有一对弹性垫(30)。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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