[实用新型]航空钛合金作动筒及其复合膜层的制备装置

权利要求书

1.一种航空钛合金作动筒，包括钛合金筒体、不锈钢活塞杆和橡胶密封圈，其特征在于，所述钛合金筒体的表面具有复合膜层，所述复合膜层包括沉积在所述钛合金筒体表面的氧化膜层和沉积在所述氧化膜层上的气相沉积膜层，所述气相沉积膜层为均匀性大于70％的碳基掺杂膜层。

2.根据权利要求1所述的航空钛合金作动筒，其特征在于，所述氧化膜层的厚度为20～60μm，所述气相沉积膜层的厚度为3～15μm。

3.根据权利要求1所述的航空钛合金作动筒，其特征在于，所述钛合金筒体的直径为20～100mm，长度为150～400mm。

4.一种复合膜层的制备装置，用于制备权利要求1中所述钛合金筒体表面的复合膜层，其特征在于，包括：

氧化膜层制备装置，所述氧化膜层制备装置包括筒底盲孔保护座、绝缘陶瓷板、抽气管、陶瓷压盖、铜合金垫片和氧化电源，所述筒底盲孔保护座的底部嵌入所述钛合金筒体内侧底部的盲孔内，所述绝缘陶瓷板安装于所述筒底盲孔保护座的顶部，所述抽气管的一端与所述筒底盲孔保护座相连接，所述抽气管的另一端用于和抽气泵相连接，所述陶瓷压盖安装于所述钛合金筒体的顶部开口端，所述铜合金垫片安装于所述抽气管上，所述铜合金垫片用于连接所述氧化电源的阴极，所述钛合金筒体用于连接所述氧化电源的阳极；

气相沉积膜层制备装置，所述气相沉积膜层制备装置包括气相沉积真空室、所述筒底盲孔保护座、布气管和气相沉积电源，所述钛合金筒体位于所述气相沉积真空室内，所述筒底盲孔保护座的底部嵌入所述钛合金筒体内侧底部的盲孔内，所述布气管穿过所述气相沉积真空室且部分伸入所述钛合金筒体内，所述布气管伸入所述钛合金筒体内的部分设有布气孔，所述气相沉积电源位于所述气相沉积真空室外侧，所述钛合金筒体用于连接所述气相沉积电源的阴极，所述气相沉积真空室用于连接所述气相沉积电源的阳极。

5.根据权利要求4所述的复合膜层的制备装置，其特征在于，所述抽气管一端采用螺钉与所述筒底盲孔保护座相连接，另一端布置有外螺纹，用于和所述抽气泵螺纹连接。

6.根据权利要求4所述的复合膜层的制备装置，其特征在于，所述陶瓷压盖上设有通孔，所述通孔供支撑杆伸入，所述支撑杆用于夹持所述钛合金筒体。

7.根据权利要求4所述的复合膜层的制备装置，其特征在于，所述布气管整体为U形，所述布气管靠近所述钛合金筒体底部的部位为螺旋形。

8.根据权利要求7所述的复合膜层的制备装置，其特征在于，所述布气管为不锈钢材质，直径为3～5mm，所述螺旋形部分的螺距6～8mm，所述布气孔的直径为0.5～1mm，多个所述布气孔沿所述布气管的延伸方向等距分布，间距为5～8mm。